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Scios 2 DualBeam FIB雙束電鏡

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        Thermo Scientific Scios 2 DualBeam是一款超高分辨率分析系統(tǒng),可為的泛類型的樣品,包括磁性和不導(dǎo)電材料提供出色的樣品制備和三維表征性能。 Scios 2 DualBeam系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計(jì),優(yōu)化了樣品處理能力、分析精度和易用性,是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)和工業(yè)環(huán)境中進(jìn)行高級(jí)研究和分析的理想解決方案。


        Scios 2 DualBeam可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統(tǒng)配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質(zhì)量、全自動(dòng)地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統(tǒng)可在泛的工作條件下提供出色的納米級(jí)細(xì)節(jié)。Scios 2 DualBeam可幫助所有經(jīng)驗(yàn)水平的用戶更快、更輕松的獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果,此外,系統(tǒng)專為材料科學(xué)中挑戰(zhàn)的材料微觀表征需求而設(shè)計(jì),配備了全集成化、極快速M(fèi)EMS熱臺(tái),可在更接近真實(shí)環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。

    發(fā)射源:高穩(wěn)定型肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍


    分辨率:
    ☆  工作距離下
    ☆  30 keV下STEM 0.8 nm
    ☆  1 keV下1.6 nm

    ☆  1 keV下電子束減速模式1.4 nm


    電子束參數(shù):
    ☆  探針電流范圍:1 pA ~ 400 nA
    ☆  加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV
    ☆  著陸電壓范圍:20 eV ~ 30 keV
    ☆  水平視場(chǎng)寬度:7 mm WD時(shí)為3 mm,60 mm WD時(shí)為7.0 nm

    ☆  導(dǎo)航蒙太奇功能,可額外增大視場(chǎng)寬度


    離子光學(xué):
    的大束流Sidewinder離子鏡筒
    加速電壓范圍:500 V~30 kV
    離子束流范圍:1.5 pA ~ 65 nA
    15孔光闌
    標(biāo)配不導(dǎo)電樣品漂移抑制模式
    離子源壽命至少1000 小時(shí)

    離子束分辨率30 kV下3.0 nm


    樣品室:
    ☆  電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處(SEM 7 mm)
    ☆  端口:21個(gè)

    ☆  內(nèi)寬:379 mm


    樣品臺(tái):靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)
    ☆  XY范圍:110 mm
    ☆  Z范圍:65 mm
    ☆  旋轉(zhuǎn):360° 連續(xù)
    ☆  傾斜:-15° ~ +90°
    ☆  XY重復(fù)精度:3 μm
    ☆  樣品尺寸,直徑110 mm,可沿X、Y軸旋轉(zhuǎn)時(shí)
    ☆  樣品高度,與優(yōu)中心點(diǎn)間隔為85 mm
    ☆  樣品質(zhì)量 5 kg(包括樣品托)

    ☆  同心旋轉(zhuǎn)和傾斜


    樣品托:
    ☆  標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托,以方式直接安裝到樣品臺(tái)上,可容納18個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托架(φ12mm)、3個(gè)預(yù)傾斜樣品托、2個(gè)垂直和2個(gè)預(yù)傾斜側(cè)排托架(38°和90°),樣品安裝無需工具
    ☆  每個(gè)可選的測(cè)排托可容納6個(gè)S/TEM銅網(wǎng)
    ☆  各種晶片和定制化樣品托可按要求提供(可選)
    探測(cè)器系統(tǒng):可同步檢測(cè)多達(dá)四種信號(hào)
    ☆  樣品室二次電子探測(cè)器ETD
    ☆  鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器T1
    ☆  鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T2
    ☆  鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T3(選配)
    ☆  IR-CCD紅外相機(jī)(觀察樣品臺(tái)高度)
    ☆  圖像導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
    ☆  高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測(cè)器ICE
    ☆  可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測(cè)器DBS

    ☆  電子束流測(cè)量


    控制系統(tǒng):
    ☆  64 位操作系統(tǒng)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
    ☆  圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
    ☆  支持用戶自定義的GUI,可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
    ☆  本地語言支持
    多功能控制板與Joystick操縱桿(可選)


    ☆  使用Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡(jiǎn)便地制備高質(zhì)量、定位TEM和原子探針樣品;
    ☆  Thermo Scientific NICol 電子鏡筒可進(jìn)行超高分辨成像,滿足泛類型樣品的成像需求;
    ☆  各類集成化鏡筒內(nèi)及極靴下探測(cè)器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供最完整的樣品信息;
    ☆  可選ASV4軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取優(yōu)質(zhì)、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息;
    ☆  高度靈活的110 mm樣品臺(tái)和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav-Cam相機(jī)實(shí)現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航;
    ☆  專用的DCFI漂移抑制技術(shù)和Thermo Scientific SmartScan等模式實(shí)現(xiàn)無偽影成像和圖形加工;
    ☆  靈活的DualBeam配置,優(yōu)化解決方案滿足特定應(yīng)用需求。



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