.NM     絕對?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1           底?尺?*?度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合?

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運(yùn)動?程

200 um × 200 um

5            閉環(huán)分辨率

優(yōu)于1nm

6           推薦最?負(fù)載

500 g

7            閉環(huán)傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝?度

10          推薦使?溫度

11          質(zhì)量

1 kg

12          安裝

螺紋孔?動兼容 Carrier.L7550.XY