BASF公司 EXACTUS紅外測溫儀擁有專有技術(shù)，測溫精度高達1.5℃, 測溫重復性0.1℃，非常適用于晶圓的外延生長，氧化擴/散，快速退火等工藝的溫度測量。根據(jù)響應(yīng)波長以及光學鏡頭的不同包括諸多型號如：EX-S-3FP, EX-S-7PY, EX-S-3PY, EX-S-2PY等等

主要特點

詳細說明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅(qū)者, BASF已將其溫度測量技術(shù)專長應(yīng)用于光學溫度測量. EXACTUS紅外測溫儀取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測量中提供了顯著的性能優(yōu)勢 .

EXACTUS紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學技術(shù)以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng)技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學和先進的光學技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.

典型應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)