半導體芯片退火設(shè)備 RTP快速退火爐產(chǎn)品特點

● 快速加熱和降溫: 高可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。

● 精確控溫: 采用工業(yè)溫控器進行PID精確控溫，目標溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，高真空度可達10-3Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結(jié)合相關(guān)測試方法進行原位測試分析。

● 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。

● 國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。