武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年，是一家技術(shù)自主創(chuàng)新的國家新技術(shù)企業(yè)。公司集快速退火爐研發(fā)、市場和技術(shù)服務(wù)于一體的真空快速退火爐廠家。
本公司生產(chǎn)銷售的真空快速退火爐覆蓋1-12吋樣品測試，分為科研與產(chǎn)線兩種應(yīng)用場景類型共8款機(jī)型。
RTP-3-04系列自立式4吋真空快速退火爐采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸)快速升溫和降溫，可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導(dǎo)體工藝。
真空快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)?、氬氣等）。同時(shí)，通過選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，真空度可達(dá)10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測試方法進(jìn)行原位測試分析。
超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。
真空快速退火爐廠家：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
真空快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
型號 | 1-12英寸系列 |
溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度均勻性 | ≦1%設(shè)定溫度 |
溫度控制 | 選用工業(yè)級溫控器，控溫精度±0.1℃ |
溫度傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
降溫速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
樣品尺寸 | 1-12英寸樣品 |
真空快速退火爐廠家 服務(wù)的客戶：
公司的快速退火爐服務(wù)于的大學(xué)有：清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、南京大學(xué)、浙江大學(xué)等大學(xué)；
服務(wù)的重要科研院所：中科院微電子所、半導(dǎo)體所、微系統(tǒng)所、綿陽九院等；
服務(wù)的半導(dǎo)體企業(yè)有：華為海思、三安光電、敏而精密、澤達(dá)等等頭部半導(dǎo)體企業(yè)等等。
