質(zhì)量分辨率：＞800質(zhì)量分析范圍：1-2500原始束流或速能量：30kV儀器種類：飛行時間TESCAN電鏡質(zhì)譜FIB-SEM-TOF-SIMS聯(lián)用系統(tǒng)電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中最重要的一環(huán)

質(zhì)量分辨率：＞800
質(zhì)量分析范圍：1-2500
原始束流或速能量：30 kV
儀器種類：飛行時間

TESCAN 電鏡質(zhì)譜 FIB-SEM-TOF-SIMS 聯(lián)用系統(tǒng)
電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中最重要的一環(huán)，而元素分析是其中最重要的表征手段之一，但標(biāo)準(zhǔn)的分析手段如能譜儀和波譜儀存在很多不足，例如因靈敏度不足、空間分辨率較差，無法進(jìn)行輕元素、微量元素的分析，無法分辨同位素等等，普通的分析手段已不能滿足現(xiàn)階段應(yīng)用的需求。
TESCAN 提供的解決方案是將飛行時間二次離子質(zhì)譜與 FIB-SEM 系統(tǒng)集成。這種組合能夠?yàn)橛脩籼峁┕腆w材料的 3D 化學(xué)表征和分子信息，高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像等，并可以進(jìn)行原位 FIB 深度分析。
飛行時間-二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）
TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有分辨率的質(zhì)譜儀，工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面，從而在樣品最上層的原子層激發(fā)出二次離子 (SI），再根據(jù)不同質(zhì)量的二次離子飛行到探測器的時間不同來測定離子質(zhì)量。
與 EDX 相比，TOF-SIMS 可以實(shí)現(xiàn)更好的橫向和縱向分辨率，還可以識別并定量樣品表面層中存在的元素和分子物質(zhì)，以及具有類似標(biāo)稱質(zhì)量的同位素和其他物質(zhì)等。

系統(tǒng)主要優(yōu)勢：
高靈敏度，Be，B和Li之類的輕元素檢出限可達(dá)ppm級
優(yōu)異的空間分辨率，橫向分辨<><15>
正負(fù)離子均可檢測，離子質(zhì)量分辨率>800
2維和3維快速、高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像，進(jìn)行原位FIB深度分析
通過坐標(biāo)轉(zhuǎn)移，保證不同儀器分析位置的重合