色譜分析一直以來都是氣體質(zhì)量控制的重要手段之一，但對(duì)5N及5N以上純度的高純、超純氣體和高純度的電子工業(yè)用氣體等樣品的分析卻是色譜分析的難點(diǎn)，不僅樣品中需要檢測(cè)的雜質(zhì)種類繁多且含量極低，而且空分產(chǎn)品中的雜質(zhì)容易被空氣組分污染需要長(zhǎng)時(shí)間的吹掃置換，電子工業(yè)用氣體存在易吸附、腐蝕性、遇水結(jié)晶、遇水改變特性等諸多特征。

　　

　　LX-3200-PDD氦離子化氣相色譜儀因應(yīng)上述問題而開發(fā)，產(chǎn)品采用全新的工業(yè)設(shè)計(jì)，配備擁有超高靈敏度的脈沖放電氦離子化檢測(cè)器，將待檢組分的響應(yīng)提升至ng/g級(jí)（10-9）；采用超低泄露率的卡套或VCR接頭連接帶有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣閥，將樣品與空氣有效隔離，避免空氣污染；真空負(fù)壓取樣系統(tǒng)大大減少樣品的置換次數(shù)的同時(shí)，也可以避免電子工業(yè)用氣體中的Sicl4、HF、SiH4遇水的輻射性及結(jié)晶；EP級(jí)管路及經(jīng)特殊處理的色譜柱擔(dān)體等技術(shù)的應(yīng)用，避免了樣品吸附對(duì)分析的影響。

　　

　　LX-3200-PDD氦離子化氣相色譜儀采用由多個(gè)吹掃型進(jìn)樣閥及多根色譜柱組成的多閥多柱的中心切割與反吹分離技術(shù)，通過色譜工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過程，一臺(tái)儀器就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)高純氮、高純氬、高純氧、高純氦、高純氫、高純二氧化碳、氪氣、氙氣、氖氣等空分高純氣體的分析；也可以針對(duì)三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、三氯化硼、、磷硼砷硅鍺烷等電子工業(yè)用氣體制定特定的分析方案。

　　

　　典型分析：

　　

　　一、空分(ASU)行業(yè)

　　

　　1、高純O2、N2、Ar中雜質(zhì)（H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2）分析；

　　

　　2、液O2液Air中烴類物質(zhì)(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析；

　　

　　3、稀有氣體He、Ne、Kr、Xe中雜質(zhì)(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析；

　　

　　二、特種氣、電子氣行業(yè)

　　

　　1、H2中雜質(zhì)(N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4）分析,

　　

　　2、腐蝕性氣體：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6等

　　

　　3、鹵化物：C3F8、C4F8、SF6、NF3、CF4、C2F6等

　　

　　4、CO2、H2、He

　　

　　5、氦離子化檢測(cè)器（PDHID）

　　

　　檢測(cè)器是一個(gè)無破壞性（0.01～0.1%電離）和高靈敏的非放射性檢測(cè)器。其檢測(cè)限在皮克數(shù)量級(jí)范圍，對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)。

　　

　　He+e-®He++2e-

　　

　　®He2*

　　

　　®2He+hv(12-21eV)

　　

　　+A®A++e-

　　

　　脈沖放電氦離子化檢測(cè)器（PDHID）優(yōu)點(diǎn)：

　　

　　1、基線及響應(yīng)穩(wěn)定、檢測(cè)器壽命長(zhǎng)；

　　

　　2、同一PDHID可運(yùn)行不同的模式；

　　

　　3、高靈敏度；

　　

　　4、寬線性范圍；

　　

　　5、不用放射性物質(zhì),不用氫氣；

　　

　　6、工作溫度可達(dá)400℃；

　　

　　7、對(duì)樣品沒破壞性；

　　

　　8、結(jié)構(gòu)結(jié)實(shí),不用特殊維護(hù)。