技術(shù)參數(shù)：l 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果。l 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

技術(shù)參數(shù)：

l 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果。

l 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷，可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

l 在自動模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

l 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。

l 樣品室大?。?/span>直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")

l 樣品臺：可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm

l 濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流40mA，程序化數(shù)字控制

l 濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

l 模擬計量：真空： Atm - 0.001mbar，電流：0-50mA

l 控制方法: 自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（5－300s），自動放氣.整個操作亦可全手動控制。

l 真空泵：，抽氣速率: 6.0 m3/小時 ，真空度到 0.1mb所需時間30秒.

l 桌上系統(tǒng): 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)

l 保修期：免費保修一年