出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性

(1)單拱龍門式設(shè)計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。；
(2)線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)

的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運動中的細(xì)微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。