MX系列工業(yè)檢測顯微鏡

主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域，可對樣品進(jìn)行明場、暗場及簡易偏光觀察。

圖：有標(biāo)注的

性能特點(diǎn)：

1） 系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡，成像清晰、像面平坦

2） 配備反射式柯拉照明系統(tǒng)，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明

3） 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性

4） 配備了6”帶離合器機(jī)械平臺(tái)，行程158*158mm，可快速移動(dòng)

5） 根據(jù)人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡臂，“Y”型底座，調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制，粗微調(diào)同軸

6） 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù)，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

7） 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光置、干涉濾光片、測微尺等附件，拓展應(yīng)用領(lǐng)域

MX-6R主要技術(shù)參數(shù)

物鏡（圖）無限遠(yuǎn)鏡頭

MX-6R工業(yè)檢測顯微鏡配置表

1、觀察筒

（1）正像觀察筒，物的移動(dòng)與像的移動(dòng)方向一致，不會(huì)出現(xiàn)使用倒像觀察筒時(shí)物像方向相反而產(chǎn)生的錯(cuò)覺。避免操作失誤，提高工作效率。

1、鉸鏈?zhǔn)接^察筒，25°傾斜，視度調(diào)節(jié)（±5）

2、分光比：雙目99%，三目99%

3、瞳距調(diào)節(jié)（54—75mm），無需筒長補(bǔ)償

2、目鏡

1、PL10X目鏡，標(biāo)準(zhǔn)視場數(shù)22mm?？砂惭b各種測微尺或指針

2、超大視野，搜索更迅速，觀察更容易

3、高眼點(diǎn)設(shè)計(jì)，使用者無需摘下眼鏡。

4、目鏡配有可翻疊的橡膠眼罩，有效防止外界光線干擾，同時(shí)也保護(hù)目鏡

　　（2）參數(shù)表（見后附，同XY樣本的一致）

3、物鏡

1、無限遠(yuǎn)平場消色差，長工作距金相物鏡（明暗場兩用），提供優(yōu)質(zhì)圖像

　　2、所有物鏡都經(jīng)過特殊工藝處理，延長使用壽命，保證圖像長期清晰

參數(shù)表（見附表）

4、物鏡轉(zhuǎn)換器

　　1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器

2、物鏡的安裝和操作更為便利

3、高精度制造，保證系統(tǒng)齊焦

5、機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)

　　1、雙層機(jī)械移動(dòng)式，帶離合器控制手柄，可快速移動(dòng)

2、特殊材料制造、特殊工藝處理，耐磨耐腐蝕

3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄，操作更加舒適

4、6英寸矩形，移動(dòng)行程：158mmX158mm

離合器控制手柄——通過離合控制，可以脫開手輪傳動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)快速無阻移動(dòng)，提高大面積樣品檢測時(shí)的移動(dòng)效率

6、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)

1、采用新型導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，粗微動(dòng)同軸

　　　　2、低手位設(shè)計(jì)，操作舒適

3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置

4、調(diào)焦行程：33mm

5、調(diào)焦精度：0.001mm

6、樣品高度：32mm

7、照明系統(tǒng)

1、12V/100W鹵素?zé)?，預(yù)置中心

2、90V-240V寬電壓，旋鈕式數(shù)字調(diào)光

3、具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能，用于特定觀察或拍攝照片

4、反射式柯拉照明，帶視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心

5、推拉式針孔光闌，主要用于50X以上的物鏡，觀察高景深高對比度

目鏡表格