輪廓測量：各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。

輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

粗糙度測量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr