詳細(xì)信息測(cè)量范圍：200mm×100mm分辨率：0.0002mm準(zhǔn)確度：（1+L/100）μm（其中L為測(cè)量長(zhǎng)度

測(cè)量范圍：200mm×100mm

分辨率：0.0002mm

準(zhǔn)確度：（1+L/100）μm（其中 L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm）

工作臺(tái)

平工作臺(tái)尺寸：260mm×270mm

圓工作臺(tái)直徑：φ  213mm

圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~ 360°

圓工作臺(tái)角度分度值：30"

物鏡

主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分劃值：30′
測(cè)角目鏡
角度分劃范圍：360°
角度分度值：1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍：±7°
角度分度值：10'
頂針裝置
夾持長(zhǎng)度：700mm
夾持直徑：φ100mm
高頂針架
夾持長(zhǎng)度：200mm
夾持直徑：φ250mm
圓分度頭
角度分劃范圍：0°~ 360°
角度分度值：1′
光學(xué)定位器
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍：±3°
探測(cè)孔徑：φ5mm
探測(cè)深度：15mm
定位變動(dòng)性： <1μm
測(cè)量力（N）：0.1±0.03
環(huán)境要求：室溫20±1℃，相對(duì)濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) :長(zhǎng)1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量: 450kg