橢圓偏振光譜儀UVISELPLUS是一種無損無接觸的光學(xué)測量，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米

橢圓偏振光譜儀UVISEL PLUS是一種無損無接觸的光學(xué)測量，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。 

技術(shù)參數(shù)： 

? 光譜范圍: 190-885nm（可擴展至2100nm） 

? 微光斑可選50μm-100μm-1mm 

? 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器 

? 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選 

? 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調(diào)整，小步長0.01° 

主要特點： 

? 50KHz高頻PEM相調(diào)制，測量光路中無運動部件 

? 具備薄膜所需的測量精度，厚膜所需的高光譜分辨率 

? 具有毫秒級快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測 

? 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件 

? 配置靈活