ME-L穆勒矩陣橢偏儀一、產品介紹:1、超寬的光譜范圍:采用氘燈和鹵素燈復合光源
基本功能 | 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 |
光譜范圍 | 380-1000nm(210-1650nm可選) |
測量時間 | 1-8s |
入射角范圍 | 45-90° |
光斑尺寸 | 2-3mm/200um |
重復性精度 | 0.005nm(100nmSiO2硅片) |
精度 (空氣介質) | 橢偏參數(shù):ψ=45±0.05° Δ=0±0.01° |
穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005 非對角元素m=0±0.005 | |
分析軟件 | 多達數(shù)百種光學材料庫,支持用戶自定義 |
多層各向同性/異性光學薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能 |
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