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武漢頤光ME-L 穆勒矩陣橢偏儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 湖南勝銘科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 長(zhǎng)沙市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/3/15 17:03:37
  • 訪問(wèn)次數(shù) 420

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ME-L穆勒矩陣橢偏儀一、產(chǎn)品介紹:1、超寬的光譜范圍:采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源

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ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
    一、產(chǎn)品介紹:

    1、超寬的光譜范圍:采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍(380-1000nm)支持拓展至200-1650nm

    2、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制:高精度旋轉(zhuǎn)與觸發(fā)同步控制,實(shí)現(xiàn)高速光譜數(shù)據(jù)采集

    3、全穆勒矩陣測(cè)量:基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置,可一次獲取穆勒矩陣的16個(gè)元素,相對(duì)于傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測(cè)量信息

    4、超級(jí)消色差補(bǔ)償設(shè)計(jì):補(bǔ)償器技術(shù),適應(yīng)從深紫外到近紅外寬光譜范圍內(nèi)高精度相位調(diào)制要求

    5、豐富的材料數(shù)據(jù)庫(kù)和算法模型:數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)、涵蓋了目前絕大部分的光學(xué)材料

    6、向?qū)浇换ソ缑妫很浖驅(qū)Ы换ナ饺藱C(jī)界面操作,為用戶提供優(yōu)質(zhì)操作體驗(yàn)

    7、納米光柵分析能力:分析算法模型實(shí)現(xiàn)各種納米光柵結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取




    二、技術(shù)參數(shù):

    基本功能 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜
    光譜范圍 380-1000nm(210-1650nm可選)
    測(cè)量時(shí)間 1-8s
    入射角范圍 45-90°
    光斑尺寸 2-3mm/200um
    重復(fù)性精度 0.005nm(100nmSiO2硅片)
    精度
    (空氣介質(zhì)) 
    橢偏參數(shù):ψ=45±0.05°     Δ=0±0.01°
    穆勒矩陣:對(duì)角元素m=1±0.005  非對(duì)角元素m=0±0.005
    分析軟件 多達(dá)數(shù)百種光學(xué)材料庫(kù),支持用戶自定義
    多層各向同性/異性光學(xué)薄膜、周期性光柵結(jié)構(gòu)建模仿真與分析功能


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