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準(zhǔn)分子激光加工系統(tǒng)

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微納尺度加工,百納米級(jí)光刻效果。掩膜版與激光直寫兩種模式隨意切換。

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產(chǎn)品型號(hào):
HLG-EX 系列

產(chǎn)品描述

HLG-EX 系列準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)是應(yīng)用于科研 / 工業(yè)領(lǐng)域的紫外脈沖激光微加工系統(tǒng)。本系列產(chǎn)品選用深紫外波段的作為加工主體,通過切斷化學(xué)鍵方式,對(duì)高分子材料、石英、鉆石等透光材料有的去除效果,并將熱效應(yīng)降至,使加工精度可以達(dá)到微米量級(jí),不產(chǎn)生熱影響區(qū)和微裂紋。

本產(chǎn)品采用集成化軟件控制,可視化窗口可以實(shí)時(shí)觀測(cè)加工區(qū)域以及加工效果,所見即所得。系統(tǒng)全部硬件都由統(tǒng)一界面進(jìn)行全程控制,集成度高。該產(chǎn)品面向工業(yè)生產(chǎn)和科研應(yīng)用,適用于不同的應(yīng)用領(lǐng)域,特別是在眼鏡樹脂鏡片的防偽標(biāo)識(shí)、鉆石的腰線標(biāo)刻、藍(lán)寶石鏡面以及其他光學(xué)鏡片的標(biāo)刻等方面,有很好的效果。


應(yīng)用范圍:
※ 選擇性去除聚合物;
※ 微型鉆孔 / 開槽;
※ 微流控芯片;
※ 激光燒蝕進(jìn)樣系統(tǒng);
※ 樹脂鏡片防偽標(biāo)識(shí);
※ 鉆石、珠寶標(biāo)刻;
※ 光學(xué)元件微加工;
※ PCB 打孔及微加工。


特點(diǎn):
1、高速加工:
本機(jī)采用小型的,單脈沖能量可達(dá) 15 mJ。由于激光器采用的預(yù)電離技術(shù),脈沖寬度可以實(shí)現(xiàn) 5 ~ 10 ns,使峰值功率大大提高,具有的加工速度和的加工效果。
2、機(jī)器視覺:
采用集成化軟件對(duì)系統(tǒng)所有硬件進(jìn)行控制,客戶可以實(shí)現(xiàn)所見即所得。應(yīng)用高清晰度的 CCD 作為成像元件,并采用自動(dòng)聚焦的機(jī)器視覺系統(tǒng),客戶可以根據(jù)軟件界面所顯示的區(qū)域進(jìn)行加工設(shè)置,并能夠直接看到加工效果。
3、集成化軟件:
自主研發(fā)的集成化軟件,可以方便地控制系統(tǒng)工作參數(shù)和監(jiān)控工作狀態(tài)??蛻艨梢宰灾髟O(shè)計(jì)所需加工圖樣,并生成加工文件。軟件驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)硬件全自動(dòng)化進(jìn)行加工過程,并全程可視。
※ 可視化編程; ※ 用戶界面友好、直觀;
※ 支持 BMP、DXF、STL 文件格式;
※ 所見即所得,軌跡預(yù)覽。


選配件

1、激光器:
(波長(zhǎng)308、248、193、157nm可選)
2、位移臺(tái):
尺寸50-2000mm,精度從±75nm-10μm可選,氣浮、5軸可聯(lián)動(dòng)
3、掩膜版:
可定制大尺寸掩膜板、動(dòng)態(tài)掩膜板
4、流水線:
可定制工業(yè)流水線、機(jī)器人、機(jī)械臂
5、自動(dòng)聚焦:
可定制自動(dòng)聚焦、自動(dòng)定位、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)識(shí)別、圖像測(cè)量等圖像功能


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