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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)2

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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法,實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題;可應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA)、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測。

詳細信息 在線詢價

產(chǎn)品概述
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法,實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題;可應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA)、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測。
產(chǎn)品特點

數(shù)據(jù)可靠

系統(tǒng)實現(xiàn)了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質(zhì)量控制、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。

避免人工誤差引入,數(shù)據(jù)準確可靠。


靈敏度高

大體積進樣濃縮,大幅提高系統(tǒng)檢測能力,檢出限可達亞ppt級,縮短系統(tǒng)運行周期。


監(jiān)測面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集;

系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣,可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。


設計合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計,滿足SEMI F57中相關析出雜質(zhì)的控制要求。


吸收高效

在線雙吸收模塊設計,有利于節(jié)約樣品分析時間,數(shù)據(jù)輸出更快更高效!

應用領域
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)主要應用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測,可擴展至大氣中離子污染物的檢測。


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