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RST5210F電化學(xué)工作站2

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RST5210F型電化學(xué)工作站是在RST5200F型的成熟基礎(chǔ)上增加四探針電阻率測試方法而來

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       RST5210F型電化學(xué)工作站是在RST5200F型的成熟基礎(chǔ)上增加四探針電阻率測試方法而來。該測試方法是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校及各類科研部門。

       四探針電阻率測試方法與電化學(xué)工作站中的其他方法一樣,軟件界面友好、參數(shù)設(shè)置簡單明了。啟動(dòng)測試后,儀器按設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)連續(xù)采集數(shù)據(jù),在屏幕上實(shí)時(shí)顯示電阻-時(shí)間曲線。測試結(jié)束后,根據(jù)電阻形態(tài)參數(shù)自動(dòng)換算成電阻率及電導(dǎo)率,無需人工計(jì)算。配備的專用電化學(xué)工作站軟件在電腦上運(yùn)行,可隨時(shí)顯示、保存、打印數(shù)據(jù)和圖形,以備存查。

       本方法的設(shè)置參數(shù)有:電阻形態(tài)及尺寸、探針形狀及間距、激勵(lì)電流及可測電阻范圍、預(yù)熱時(shí)間、樣點(diǎn)間隔、樣點(diǎn)數(shù)量、被測器件電動(dòng)勢等。

       測試工具可根據(jù)被測產(chǎn)品及測試項(xiàng)目的要求選購,配置不同的測試工具可滿足不同材料的測試要求。

         本儀器的四探針電阻率測量方法適用于分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內(nèi)阻。也就是說,可測量導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料的軸向電阻率、徑向電阻率、擴(kuò)散層薄膜電阻率。本儀器具有自動(dòng)電位扣除功能,因此可測量含源直流器件內(nèi)阻。

電阻形態(tài)

例子

分立電阻

各種類型電阻器件

線狀電阻

銅線、銅棒、鋁線、鋁棒、鐵絲、導(dǎo)電性纖維

面狀電阻

導(dǎo)電覆蓋膜、ITO導(dǎo)電膜玻璃、金屬化標(biāo)簽、半導(dǎo)體外延層擴(kuò)散層、

觸屏薄膜、合金類箔膜、電極涂料導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜

塊狀電阻

金屬方塊電阻、金屬圓塊電阻、半導(dǎo)體材料晶塊、半導(dǎo)體材料晶圓、

導(dǎo)電橡膠、導(dǎo)電性塑料、導(dǎo)電性陶瓷、導(dǎo)電性糊狀物

直流器件內(nèi)阻

鋰離子電池、鉛酸蓄電池、干電池、鈕扣電池


主要技術(shù)指標(biāo):

儀器架構(gòu):恒電位儀、恒電流儀、交流阻抗頻譜儀

電流測量精度:滿量程的0.1%

接地模式:可根據(jù)體系要求設(shè)置成實(shí)地模式或浮地模式

電流測量低通濾波器:自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置

槽壓:±15V(可擴(kuò)展至±22V或±30V)

方波伏安法頻率:1Hz~100kHz

電位掃描范圍:±12.8V

交流伏安法頻率:0.1Hz~10kHz

CV最小電位增量:0.0125mV

交流阻抗譜頻率:0.00001Hz1MHz11個(gè)頻段)

電位控制精度:<±0.5mV

正弦波幅度:0.01mV12V

電位控制噪聲:<0.01mV

CACC脈沖寬度:0.1mS1200S

電位上升時(shí)間:<0.00025mS

DPV脈沖寬度:0.05mS64S

電位測量零位:自動(dòng)校正

IR降補(bǔ)償:自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置(10Ω~1MΩ)

電位更新及阻抗采集速率:10MHz

多階躍循環(huán)次數(shù):1000

電位測量低通濾波器:自動(dòng)或手動(dòng)設(shè)置

限壓反饋恒流換向時(shí)間:<0.1mS

電位測量精度:滿量程的0.1%

恒流限壓循環(huán)周期:0.1S~100000S

掃描速度:0.000001V/S20000V/S

脈沖電鍍//最小脈寬:八相脈沖可正可負(fù)//0.05mS

參比電極輸入阻抗//電容:>1013Ω//<10pF

電池全容量充電工步:激活、恒流、恒壓、涓流

恒電流輸出 :±500mA

雙通道高速ADC:18bit@1Msps

輸入偏置電流:<0.1pA

數(shù)據(jù)長度:20,000,000點(diǎn)

電流測量分辨率:電流量程的0.00076%,最小0.2fA

通氮攪拌及敲擊控制輸出:二路開關(guān)量信號(hào)(+5V/10mA

電流測量零位:自動(dòng)校正

擴(kuò)展輸出:二路光電隔離數(shù)字量信號(hào)

電流測量量程:1pA500mA(25)

儲(chǔ)能電化學(xué)測量保護(hù)模式:極性、電壓、電流、時(shí)間、鏈路

前置放大倍數(shù):5×10×100

電極智能柔性保護(hù) :電壓超載、電流超載

電流測量靈敏度:1×10-12A/V

RSRSMART儀器聯(lián)機(jī),綜合軟件同步運(yùn)行,實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管電泳及電化學(xué)發(fā)光檢測。

主要測試方法:

線性掃描伏安法LSV

單電位階躍計(jì)時(shí)電流法CA

線性掃描溶出伏安法

單電位階躍計(jì)時(shí)電量法CC

線性掃描循環(huán)伏安法LCV

多電位階躍計(jì)時(shí)電流法

階梯伏安法SV

多電位階躍計(jì)時(shí)電量法

階梯溶出伏安法

單電流階躍計(jì)時(shí)電位法CP

階梯循環(huán)伏安法SCV

多電流階躍計(jì)時(shí)電位法

方波伏安法SWV

恒電位電解I-T曲線

方波溶出伏安法

恒電位電解Q-T曲線

方波循環(huán)伏安法SWCV

恒電位溶出I-T曲線

差示脈沖伏安法DPV

恒電位溶出Q-T曲線

差示脈沖溶出伏安法

開路電位E-T曲線OCPT

常規(guī)脈沖伏安法NPV

電位溶出E-T曲線

差示常規(guī)脈沖伏安法DNPV

控制電流E-T曲線

差分脈沖電流檢測

控制電位電解庫侖法

雙差分脈沖電流檢測

鍍錫量測定

三脈沖電流檢測

塔菲爾圖Tafel

積分脈沖電流檢測

環(huán)形掃描

脈沖電鍍法

點(diǎn)蝕電位

電鍍電位監(jiān)測

電偶腐蝕

流體力學(xué)調(diào)制伏安法

電化學(xué)噪聲測量

交流伏安法ACV

氯離子濃度監(jiān)測

交流溶出伏安法

宏電池電流監(jiān)測

交流循環(huán)伏安法ACCV

半電池恒流陽極極化

二次諧波交流伏安法

半電池恒流陰極極化

傅里葉變換交流伏安法

半電池恒流循環(huán)極化

電流掃描計(jì)時(shí)電位法

電池恒流充電

交流阻抗譜EIS

電池恒流放電

交流阻抗-電位

(阻抗模-電位、輻角-電位、Mott-Schottky)

電池恒流循環(huán)充放電

交流阻抗-時(shí)間

電池全容量分段充電

微分電容-電位

電池全容量分段放電

微分電容-頻率

恒流限壓快速循環(huán)充放電

高阻電位計(jì)

零阻電流計(jì)

器件電阻電源內(nèi)阻測量

四探針方塊電阻測量

線狀材料電阻率測量

刀型探頭方塊電阻測量


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