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AG全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x

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儀器特點(diǎn):1、X、Y、Z三軸全自動(dòng)測(cè)量?jī)x2、高清130萬(wàn)數(shù)字相機(jī)

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

儀器特點(diǎn):

1、X、Y、Z三軸全自動(dòng)測(cè)量?jī)x

2、高清130萬(wàn)數(shù)字相機(jī)。

3、Z軸軟件自動(dòng)精準(zhǔn)聚焦。該測(cè)量軟件高度集成, 能提高檢測(cè)效率及精度。

4、主要應(yīng)用檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的共面度、平面度、平整度。

5、儀器又稱激光平面度測(cè)量?jī)x



主要參數(shù):

型號(hào)

AG300CNC

行程(mm)

300×200×200

外形尺寸(mm)

1450X1050X1650

重量(kg)

450

承重(kg)

20

X 、Y軸測(cè)量精度(μm)

1.5+L/250

Z軸測(cè)量精度(μm)

2+L/200

重復(fù)精度(μm

2

X、Y軸運(yùn)動(dòng)速度

0-100mm/S(任意選擇)

Z軸運(yùn)動(dòng)速度

0-20m/S(任意選擇)

操作方式

搖桿+軟件

光柵尺

0.0001mm分辨率RENISHAW金屬光柵尺

導(dǎo)軌

中國(guó)臺(tái)灣“上銀” 精密級(jí)直線導(dǎo)軌

絲桿

中國(guó)臺(tái)灣“TBI”細(xì)牙研磨滾珠絲桿

軸承

日本原裝“NSK 雙例組合向心球軸承

電機(jī)

日本“松下”交流伺服電機(jī),定位精度≤0.001mm

光電限位開(kāi)關(guān)

日本原裝歐姆龍光電限位開(kāi)關(guān)

圖像傳感器CCD

高清數(shù)字130萬(wàn)像素彩色CCD

光源

輪廓光

輪廓光 LED冷光源,透射光加裝聚光鏡片實(shí)現(xiàn)平行光照射

表面光

4環(huán)8分區(qū)LED冷光源,軟件操控,減少電氣元件損壞。

光學(xué)鏡頭

0.7-4.5X同軸光自動(dòng)變倍鏡頭

金相物鏡

10X/0.2835mm長(zhǎng)工作距離)

放大倍率

光學(xué)放大倍率:745X;影像放大倍率:2401100X

軟件

SBK-CNC專用全自動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)版測(cè)量軟件

電源

220V/50Hz/3A

工作環(huán)境

溫度25℃±2,溫度變化<2℃/hr,濕度3080%

影像儀專用桌

內(nèi)置開(kāi)關(guān)電源、控制器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、電源控制開(kāi)關(guān)、指示燈、急停開(kāi)關(guān)、移動(dòng)滾輪

保修期

12個(gè)月


Z軸自動(dòng)聚焦、對(duì)焦重復(fù)性可達(dá)<0.0002mm

適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板、(LCM)晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域

可選配激光測(cè)量平面度及深度。





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