通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)

通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

明場(chǎng)圖像	暗場(chǎng)圖像
微分干涉圖像	偏光圖像

STM7-LFFEM分析

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保地降低誤差。

共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題] 
Ÿ 短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
Ÿ 目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
Ÿ 由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案]
    共有四種的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50 50mm x 50mm	STM7-CS100 100mm x 100mm
STM7-CS200 200 mm x 200 mm	STM7-CS300 300 mm x 300 mm

明場(chǎng)圖像

暗場(chǎng)圖像

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型	手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型	使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-HS手動(dòng)操作裝置

用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

STM7測(cè)量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示，保證了能在始終一致的照明條件下實(shí)施觀察。

5倍 強(qiáng)度50

20X 強(qiáng)度70

100X 強(qiáng)度120

計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上

計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上

高度測(cè)量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量
[[常見(jiàn)問(wèn)題]
進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。
[STM7解決方案]
具有*的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

焦點(diǎn)下方

焦點(diǎn)位置

焦點(diǎn)上方

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率 時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇。

正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。

實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。

具有小型，輕便，使用壽命長(zhǎng)，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇的照明。

STM7-RS100 STM7-CS100 100mm×100mm載物臺(tái)

STM7-RS200 STM7-CS200 200mm×200mm載物臺(tái)

STM7-RS300 STM7-CS300 300mm×300mm載物臺(tái)

測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的測(cè)量對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō)，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測(cè)量，奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。