一、儀器用途：

SEM冷熱臺(tái)是一種安裝在掃描電鏡（SEM）上研究樣品原位變溫顯微結(jié)構(gòu)的附件。

產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式，提供-190~200℃（選型）或RT~600℃（選型）的變溫環(huán)境。

產(chǎn)品需要與溫度控制器、致冷控制器（選配）配套使用，配套的上位機(jī)控溫軟件方便進(jìn)行溫度設(shè)置及采集，提供的Labview Vis方便客戶(hù)進(jìn)行定制化編程。

二、儀器特點(diǎn)：

?電熱、液氮可實(shí)現(xiàn)快速升降溫

?可增加試樣溫度監(jiān)測(cè)溫度傳感器

?溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫

?可以在較大的電子束流下獲得高質(zhì)量圖像

?可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過(guò)程簡(jiǎn)單

?制冷完成測(cè)試后可快速（60℃/min）升溫達(dá)到RT，正常更換樣品，測(cè)試效率高。

四、冷熱臺(tái)應(yīng)用案例：