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OPTOTHERM 紅外熱成像顯微鏡

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OPTOTHERM紅外熱成像顯微鏡,OptothermMicro紅外熱成像顯微鏡

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OPTOTHERM紅外熱成像顯微鏡,Optotherm Micro紅外熱成像顯微鏡,這是一臺專為微觀熱成像設(shè)計,這是一臺專為科研設(shè)計,用來測量微觀熱分布情況,除具有傳統(tǒng)紅外熱成像的優(yōu)勢外,還具有如下特點(diǎn):

1. 高分辨率紅外熱成像:640*480像素,60hz高幀數(shù),5um分辨率

微加熱臺 Micro heater

微加熱臺 Micro heater,6.4mm 由于需要采用非接觸方式來測量MEMS元件的溫度,因此Micro是一款用于微觀溫度表征的強(qiáng)大工具,可提供高達(dá)5μm/像素空間分辨率的詳細(xì)熱圖像。

分析鑒別微米及的紅外圖案,可用于特殊領(lǐng)域防偽鑒定,如微電子器件、IC等的防范標(biāo)識鑒別。

而MEMS氣體傳感器由于其體積小(mm級),傳感器需要自加熱到一定溫度后,其傳感器的精度才能達(dá)到,這就要求在研發(fā)和測試過程中對MEMS氣體傳感器的電阻絲溫度測量,需要使用紅外熱成像顯微鏡,如圖電阻絲只有幾十微米

MEMS氣體傳感器 電阻絲只有幾十微米 傳感器需要自加熱到一定溫度后,其傳感器的精度才能達(dá)到,這就要求在研發(fā)和測試過程中對MEMS氣體傳感器的電阻絲溫度測量,需要使用紅外熱成像顯微鏡.

導(dǎo)管加熱線圈等小型醫(yī)療 直徑為500微米 溫度分布和熱響應(yīng)時間對于表征其性能非常重要。Micro提供了精確的非接觸式測量方法,具有高達(dá)5μm/像素的空間分辨率。

激光二極管 laser-diode

光纖通信 等應(yīng)用的持續(xù)增長導(dǎo)致對諸如激光二極管之類的電光器件有更高的要求,關(guān)于功率要求和散熱。Micro提供了一種有效的方法來分析器件材料和熱襯底的熱性能。

芯片晶圓熱分布,對于微觀器件,真實(shí)熱分布由于微觀器件包含多種發(fā)射率不同的材料,需要像素級發(fā)射率校正

芯片晶圓熱分布,3.2*2.4mm 對于微觀器件,真實(shí)熱分布由于微觀器件包含多種發(fā)射率不同的材料,需要像素級發(fā)射率校正

2,專為科研設(shè)計的選配件:

1)XY高精度移動平臺,120*120mm,步進(jìn)精度為10um

infrared-microscope-xy-stage

2)自動控制上電的繼電器(八通道):可以精準(zhǔn)控制上電及開關(guān),比如設(shè)計上電30s后斷電,這個過程同步錄像或拍照

自動繼電器

3)兩種可選高精度熱臺:可以控制真正0℃-80℃,0℃–130℃,可以給樣品均勻加熱或降溫,設(shè)置一定實(shí)驗(yàn)環(huán)境

高精度熱臺0℃-130℃

4)探針臺:微小器件的上電工具,扎針上電 ,
微探針臺

微探針臺

5)發(fā)射率涂層套件:對于發(fā)射率低的器件,可以通過噴槍施加?。?-2微米)聚合物涂層以增加表面的發(fā)射率??沙惺芨哌_(dá)200°C的連續(xù)溫度
發(fā)射率涂層工具

發(fā)射率涂層工具

3,功能強(qiáng)大的軟件:

1) 點(diǎn),線,面的溫度分析,點(diǎn)顯示跟蹤,研究。

line profile

線性分布:畫一條線上的熱分布,可通過移動垂直線,知道準(zhǔn)確位置的準(zhǔn)確溫度

area Histogram

區(qū)域熱分布表:區(qū)域內(nèi)不同溫度的分布情況,可以移動垂直線知道該溫度下有多少像素點(diǎn)

Strip Chart

熱分布曲線表:可跟蹤若干個點(diǎn)、線、面的,,平均溫度,可通過移動垂直線,對某一具體時間的溫度情況就行研究

2)發(fā)射率校正:像素級發(fā)射率校正,修正發(fā)射率導(dǎo)致的溫度測量偏差,制作發(fā)射率表
熱發(fā)射率表

熱發(fā)射率表,系統(tǒng)自帶像素級熱發(fā)射率計算和校正軟件,移動鼠標(biāo)可知任一點(diǎn)的發(fā)射率,通過校正,可測得樣品的真實(shí)熱分布

3)可見光及其他照片疊加,可以調(diào)節(jié)紅外圖像和可見光圖片的透明度
光學(xué)圖像和熱圖疊加,通過選擇透明度或過濾低溫,將熱圖和光學(xué)或其他圖像進(jìn)行疊加

光學(xué)圖像和熱圖疊加,通過選擇透明度或過濾低溫,將熱圖和光學(xué)或其他圖像進(jìn)行疊加

4)一秒拍攝60張照片,生成照片,結(jié)合上述功能,可全面的觀測分析溫度與時間的關(guān)系,溫度于空間的關(guān)系

總結(jié):

Optotherm Micro紅外顯微鏡,作為一臺專為微觀紅外熱成像研發(fā)和設(shè)計的專業(yè)系統(tǒng),是做微觀熱分析的一個有力工具,其專為作為熱成像顯微鏡做的優(yōu)化,犧牲掉普通熱成像便攜性,可充電等各種方便宏觀熱成像的功能,同時,為微觀熱成像研究添加諸多實(shí)用和創(chuàng)新的功能,這使得其成為MEMS,電子器件,激光器件,LED,傳感器,氮化鎵器件,SIC,IGBT,微觀醫(yī)療器件等等,MEMS熱成像分析, 光纖熱像檢測,測量微型換熱器的傳熱效率, 半導(dǎo)體氣體傳感器的熱分析,微反應(yīng)器的溫度特性,微致動器的溫度測量,生物樣品的溫度分析, 材料熱檢驗(yàn),熱流體分析等等,是關(guān)注微觀熱分布的科研或生產(chǎn)的一個工具。

對于Optotherm Micro 紅外顯微鏡相關(guān)的應(yīng)用或調(diào)研,可以聯(lián)系optotherm中國區(qū)應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行送樣和評估。


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