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參考價 | 面議 |
- 公司名稱 北京天科創(chuàng)達科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 北京市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/6/4 15:22:52
- 訪問次數(shù) 113
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PT-60-HF是一款中型等離子去膠機,配置豐富且真空腔體里面可分層,適合8寸晶圓及以下大多數(shù)生產(chǎn)場景設(shè)備優(yōu)點? 任何材質(zhì)、形狀、尺寸都可以處理? 高效均勻的處理效果? 自主研發(fā)的操作系統(tǒng),簡潔智能? 處理氣體多為氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體? 較低的處理溫度,不存在熱損傷和熱氧化問題? 使用成本低、耗損小? 安裝與維護簡便快捷
等離子體其中包括原子、分子、離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)原子、活化的分子及自由基,這些粒子的能量和活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),從而有些化學(xué)鍵被打開后結(jié)合上氧原子等高活性的物質(zhì),使得材料表面親水性得到極大提高,同時對材料表面的油污等有機大分子新的化學(xué)反應(yīng),生成氣態(tài)小分子,例如二氧化碳,水氣等氣態(tài)物質(zhì)被真空泵抽走,從而達到對材料表面分子級別的清洗。
在粘接/bonding/印刷/噴漆/鍍膜/封裝等工序時讓產(chǎn)品可靠性更高,良品率更好。
型號 | PT-60-HF | |
整機尺寸(mm) | 785(W)×800(D)×1800(H) | |
重量(Kg) | 280 | |
真空腔體 | W400mm;D400mm;H400mm | |
托盤 | W360mm;D360mm | |
射頻電源 | 輸出頻率 | 13.56MHz |
功率 | 500W / 1KW | |
負(fù)載阻抗 | 50Ω | |
真空測量 | 量程 | 1×10-2~1×105 |
工藝氣路 | 2路工藝氣體管道 | MFC質(zhì)量流量計 |
控制系統(tǒng) | 西門子PLC+MCGS觸摸屏 | |
軟件功能 | 手動模式和自動模式 | |
真空泵 | 可選油泵或干泵 | |
外部電源 | 380V;50/60Hz | |
其他說明 | 設(shè)備配置可根據(jù)要求定制 |
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