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聚焦離子束電鏡

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■技術(shù)特點：在更短時間內(nèi)收集更豐富的信息加快納米斷層成像和納米加工的速度：將低電壓SEM性能與高達100nA的FIB束流相結(jié)合

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■ 技術(shù)特點：

在更短時間內(nèi)收集更豐富的信息
加快納米斷層成像和納米加工的速度：將低電壓 SEM 性能與高達 100 nA 的 FIB 束流相結(jié)合。
獲取的信息：運用多探測器采集及 同步刻蝕與成像能力 。
使用 GEMINI 技術(shù)和可選配的 ATLAS 3D 軟件包檢測高達 50 k x 40 k 像 素的大視野范圍。
流程控制
在對環(huán)境條件要求苛刻的長時間實驗中具備穩(wěn)定性，并能夠提供均勻一致的光束剖面。
采集時可以完成系統(tǒng)參數(shù)的實時更改，如探針電流或加速電壓，而無需對圖像進行調(diào)整。 圖形用 戶 界面操作直觀簡便。

應(yīng)用領(lǐng)域
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