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蔡司掃描電鏡Sigma系列

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蔡司 Sigma 系列掃描電子顯微鏡
擁有高品質(zhì)成像和分析功能的場發(fā)射掃描電鏡

蔡司 Sigma 系列是擁有高品質(zhì)成像和分析功能的場發(fā)射掃描電鏡。它收益于久經(jīng)考驗的Gemini 電子光學(xué)技術(shù)。Sigma 可以配備多種探測器,可以滿足不同的應(yīng)用需求:顆粒物,表面構(gòu)型及納米結(jié)構(gòu)等樣品的成像。利用 Sigma直觀的 4 步工作流程,可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。

久經(jīng)考驗的Gemini鏡筒設(shè)
1. Sigma系列產(chǎn)品是基于Gemini技術(shù)開發(fā)的。
2. Gemini物鏡的設(shè)計結(jié)合了靜電場與磁場的用作, 使其電子光學(xué)性能化的同時,將電磁場對樣品的影響降至,即便是磁性材料,也能輕松應(yīng)對
3. Inlens鏡筒內(nèi)二次電子探測器安裝在電子束的正光軸上,極大地提高了樣品極表面二次電子的吸收效率,從而獲得更豐富的樣品表面形貌信息。
4. 實現(xiàn)了超低電壓下的不導(dǎo)電樣品的高分辨成像。

靈活的探測段獲取率的圖像
1. 使用探測器技術(shù)描繪您的所有樣本。
2. 使用新型的 ETSE 二次電子探測器及用于高真空狀態(tài)下的 InLens 二次電子探測器可以獲得高分辨率的形貌信息。
3. VPSE C2D 探測器在各種壓力模式下都可以獲取清晰的圖像。
4. 使用環(huán)形 STEM 探測器可以獲取高分辨率的傳送圖像。
5. 使用四通道BSD探測器和釔鋁石榴石晶體探測器研究成分。

的分析系統(tǒng)
1. 掃描電鏡與要素分析相結(jié)合: Sigma EDS 幾何設(shè)計能夠增強(qiáng)分析能力,尤其是對電子束敏感的樣品。
2. 可實現(xiàn)在之前一半的束流下得到分析數(shù)據(jù),同時測試速度比之前快一倍。
3. 8.5mm 的工作距離和 35 度的出射角,可得到?jīng)]有陰影區(qū)域的分析結(jié)果。

主要技術(shù)參數(shù)
蔡司Sigma 300 蔡司Sigma 500
電子槍 肖特基場發(fā)射 肖特基場發(fā)射
15kV 對應(yīng)分辨率 1.0 nm 0.8 nm
1kV 對應(yīng)分辨率 1.6 nm 1.4 nm
背散射電子探測器類型 HD BSD HD BSD
掃描速度 50 ns/pixel 50 ns/pixel
加速電壓 0.02 30 kV 0.02 30 kV
放大倍率 10× – 1,000,000× 10× – 1,000,000×
探針束流 3pA-20nA(20nA
6pA-100nA 100nA
3pA-20nA(20nA
6pA-100nA 100nA
圖像存儲分辨率 32 k × 24 k pixels 32 k × 24k pixels
接口 12 12
能譜接口 2(1 個 EDS 專用及誒口) 3(2EDS 專用及誒口



真空模式
高真空模式 Yes Yes
可變壓模式 2 133 Pa 2 133 Pa
樣品臺種類 全電動5軸樣品臺 全電動5軸優(yōu)中心樣品臺 可選配全電動5軸樣品臺
X 方向移動范圍 125mm 130mm 125mm
Y 方向移動范圍 125mm 130mm 125mm
Z 方向移動范圍 50mm 50mm 50mm
傾斜范圍 -10 to +90 degrees -3 to +70 degrees -10 to +90 degrees
旋轉(zhuǎn)范圍 360° Continuous 360° Continuous 360° Continuous




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