產(chǎn)品參數(shù)
- 材料:玻璃、玻璃/樹脂、金屬、硅等
- 最小光柵結(jié)構(gòu)寬度:30nm
- 二維光柵結(jié)構(gòu)形狀:矩形、三角形(閃耀光柵)、斜齒
- 三維光柵結(jié)構(gòu)形狀:納米柱、納米孔
- 光柵結(jié)構(gòu)深寬比:可達(dá)10:1
- 加工面積:12英寸
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納米制造工藝自有核心納米加工產(chǎn)線,包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等
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