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PMD-氣浮隔振大理石平臺(tái)

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產(chǎn)品介紹:■臺(tái)面材料采用健康型天然大理石平臺(tái),其明顯優(yōu)點(diǎn)是平面度好、質(zhì)量大、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強(qiáng)

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產(chǎn)品介紹:

■臺(tái)面材料采用健康型天然大理石平臺(tái),其明顯優(yōu)點(diǎn)是平面度好、質(zhì)量大、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強(qiáng)。

■隔振器采用高阻尼低頻空氣彈簧,配帶無(wú)油空壓機(jī),隔振性能優(yōu)良,系統(tǒng)穩(wěn)定。具有自動(dòng)水平,自動(dòng)充氣,噪聲低等特點(diǎn)。關(guān)鍵氣動(dòng)執(zhí)行元件均采用進(jìn)口產(chǎn)品。

■該產(chǎn)品適用于XY精密移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái),晶圓檢測(cè),芯片檢測(cè),輪廓儀,點(diǎn)膠機(jī)檢測(cè)等平面度要求高的實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:00級(jí)
■固有頻率:x方向:1.5Hz~2Hz y方向:1.5Hz~2Hz
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
■比重:2970 ~ 3070 kg/㎡
■抗壓強(qiáng)度:245?254 Mpa
■彈性模量:1.27 ~ 1.47 Gpa
■線膨脹系數(shù):4.61x10—6/0 C
■吸水率:<0.31%

■肖氏硬度:70 Hs以上

■接受特殊規(guī)格尺寸訂做


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