平面氣浮直線電機(jī)平臺(tái)
采用XY軸共面設(shè)計(jì)的RXT210-XY系列氣浮平臺(tái)擁有比一般XY平臺(tái)更加優(yōu)秀的平面度及形位公差，無鐵芯直線電機(jī)保證了運(yùn)動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)以及運(yùn)動(dòng)效果均勻性，花崗巖底座更是為的平面度提供了保證，是晶圓檢測(cè)以及高精度面型微加工的。
主要性能參數(shù)：
*平臺(tái)速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動(dòng)器的時(shí)鐘頻率，不同配置會(huì)導(dǎo)致此項(xiàng)參數(shù)上限值的變化，詳詢廠家
**速度均勻性又稱速度誤差，與速度所處區(qū)間關(guān)系較大，速度越慢速度誤差比例越大，低于1mm/s的應(yīng)用，推薦采用線性驅(qū)動(dòng)器
***此數(shù)據(jù)為實(shí)驗(yàn)室實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)上限，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器，詳詢廠家
RXT210-XY外形尺寸圖
此數(shù)據(jù)為標(biāo)定后參數(shù)
*實(shí)際尺寸會(huì)根據(jù)客戶所需的行程來確定
**如需要進(jìn)一步的尺寸信息或者3D圖檔，請(qǐng)直接聯(lián)系廠家
產(chǎn)品型號(hào)命名規(guī)則：
RXT210 - X*Y - ER 5 C15
1 2 3 4 5
1RXT210為產(chǎn)品系列，ABT為直線電機(jī)平臺(tái)的英文縮寫，210代表著平臺(tái)滑塊部分的寬度
2X*Y代表著該型號(hào)產(chǎn)品的有效行程，單位mm，標(biāo)準(zhǔn)品請(qǐng)從產(chǎn)品樣冊(cè)的型號(hào)中選，如需其它行程，可聯(lián)系廠家溝通定制
3ER代表編碼器的類型，所有直線電機(jī)產(chǎn)品默認(rèn)采用直線開放式光柵
45代表該型號(hào)產(chǎn)品光柵的分辨率，單位nm，默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細(xì)分后所得，分辨率的改變會(huì)導(dǎo)致平臺(tái)速度以及重復(fù)定位精度的變化，詳細(xì)情況請(qǐng)進(jìn)一步咨詢廠家
5C15代表設(shè)備出線長(zhǎng)度為1.5m，單位m，默認(rèn)產(chǎn)品出線長(zhǎng)度1.5m，可選0.5m/1m/3m/5m等，寫作05/10/30/50，出線長(zhǎng)度會(huì)因產(chǎn)品型號(hào)不同存在誤差，如設(shè)備對(duì)出線長(zhǎng)度要求較高，請(qǐng)聯(lián)系廠家進(jìn)一步溝通
特別注意事項(xiàng)：
1、直線電機(jī)平臺(tái)屬于高精度精密設(shè)備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上，所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動(dòng)等，詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通
2、所有平臺(tái)可單獨(dú)訂購，如對(duì)設(shè)備的精度以及性能要求較高，推薦使用奧正智能自主生產(chǎn)的MCS控制器系列，搭配MCS系列控制器出貨的產(chǎn)品，在出廠檢驗(yàn)中都會(huì)做針對(duì)性的優(yōu)化和校準(zhǔn)，是您高要求使用的。
3、氣浮平臺(tái)需搭配空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、冷干機(jī)、油水分離器、過濾器、干燥器、調(diào)壓閥等輔助配件，詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)咨詢廠家
