METONE3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用

基本描述

便攜式空氣顆粒計數(shù)器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在

• 可讓您的潔凈室保持潔凈
  0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染
• 熱插拔電池-確保儀器長時間連續(xù)運行
  由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機
• 測試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
  可在監(jiān)控您的半導體生產(chǎn)環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤
• 順序采樣系統(tǒng)
  可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
• 靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
  供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作
• 直觀的用戶界面
  簡便的區(qū)域，位置和運行參數(shù)的配置和復制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃！
• 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
  專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標準要求。

產(chǎn)品參數(shù)

應用領(lǐng)域

專應用于半導體行業(yè)的空氣顆粒計數(shù)：

• 潔凈室驗證監(jiān)測
• 潔凈室的分級
• ISO14644潔凈室驗證
• 潔凈室顆粒物監(jiān)測
• 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測
• 顆粒污染源的排除過程
• HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
• 過濾器掃描
• 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應氣體，流量會自動調(diào)整

空氣顆粒計數(shù)器生命科學標準及委員會：

• 國際標準化組織 (ISO)
• ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
• ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計數(shù)器
• 環(huán)境科學與技術(shù)研究所 (IEST)