測量原理及特點(diǎn)：

                                                     點(diǎn)自動對焦分析原理

           1. 大的測量范圍/ 高精度測量.

2. 優(yōu)異的角度跟蹤能力.

3. 快速3D測量

4. 符合粗糙度測量標(biāo)準(zhǔn).

5. 自動對焦掃描實(shí)現(xiàn)快速表面形貌的測量.

6. 對測量工件表面顏色及反射率無要求.

7. 豐富的測量功能.

部分測量范例：

基本規(guī)格參數(shù)：

a 自動對焦傳感器

            1. 激光點(diǎn)尺寸: D = 1 μm (at 100X )     半導(dǎo)體激光o/p=1 mW , Max A:635m (Class 2)

 2. AF 重復(fù)性: σ ＝ 0.03 μm

b 測量對象

1 2D/3D表面形貌

2. 平整度

3. 3D/輪廓

4. 翹曲度

c 掃描范圍

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