技術(shù)參數(shù):
easyScan2 AFM原子力顯微鏡:
1. 兩種可供選擇的原子力顯微鏡掃描頭
(1) 大掃描范圍
zui大掃描范圍:X和Y方向110um x 110um
xy軸分辨率: 1.7nm
zui大掃描范圍: Z方向20um
z軸分辨率: 0.34nm
Z噪音標(biāo)準(zhǔn)(RMS): <0.4nm
(2) 高分辨率
zui大掃描范圍:X和Y方向10um*10um
xy軸分辨率:0.15nm
zui大掃描范圍:Z方向1.8um
z軸分辨率:0.027nm
Z噪音標(biāo)準(zhǔn)(RMS):<0.07nm
掃描速度:1800個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)/秒
傳感半徑: <15nm
典型負(fù)載: 10nN
掃描儀質(zhì)量:350g
反饋回路寬帶:3kHz
自動(dòng)進(jìn)場(chǎng)范圍:5mm
沒有使用危險(xiǎn)的高電壓
2. 電子控制器
數(shù)據(jù)采集時(shí),可以和任何標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算計(jì)串行端口連接
三個(gè)軸都有16位的數(shù)據(jù)收集與控制系統(tǒng)
軸輸出電壓:+12V
掃描速度:1-20分/框
1024樣品/直線
動(dòng)態(tài)頻率范圍:15-300KHz
動(dòng)態(tài)頻率分辨率:15-300KHz
外部電源
功率消耗量25VA
電子控制器質(zhì)量2.5kg
3. 軟件
軟件在Windows 操作系統(tǒng)上運(yùn)行
測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)可視化
不同的窗體的掃描數(shù)據(jù)可以被同時(shí)顯示
線觀察,點(diǎn)觀察,三維觀察
在線數(shù)學(xué)計(jì)算功能(減,平均值等等)
類似于粗糙度(Ra,Rq)、頂點(diǎn)剖面、厚度、距離和幾何分析的數(shù)據(jù)分析
可以實(shí)現(xiàn)多數(shù)據(jù)輸出
定制顯示器、工作場(chǎng)所
安裝非常簡(jiǎn)便
主要特點(diǎn):
easyScan2 AFM原子力顯微鏡:
允許快速的、在原位無(wú)破壞性的、高分辨率的處理控制。
自動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)芯片技術(shù),無(wú)需人工手動(dòng)調(diào)節(jié)。
設(shè)計(jì)小巧、緊湊;使用簡(jiǎn)便、舒適 。
所有的功能可以在一臺(tái)計(jì)算機(jī)上進(jìn)行 。
獨(dú)立的;適合大、小形狀各異的樣品 。
樣品自動(dòng)進(jìn)場(chǎng) 。
與標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算機(jī)串行端口連接(不需要接口卡) 。
特殊的掃描儀設(shè)計(jì),確保低震動(dòng)靈敏度 。