● 大尺寸樣品臺(tái),全自動(dòng)測(cè)量zui大直徑為160mm樣品。
● PZT/Voice Coil雙模式技術(shù)AFM
● 全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
● 批處理軟件,自動(dòng)圖像拼接縫合技術(shù),可以測(cè)量超大樣品的三維形貌像
● *的32-bit DSP控制器,反饋技術(shù)(掃描范圍>10um時(shí)zui高掃描20 Hz,消除爬行現(xiàn)象)
● 可以進(jìn)行納米壓痕和劃痕實(shí)驗(yàn)
● 光學(xué)系統(tǒng), XY閉環(huán)掃描技術(shù)
● *開放性軟硬件構(gòu)架設(shè)計(jì), 并開放所有源代碼供您的二次開發(fā)
主要特點(diǎn):● 原子力顯微鏡掃描器zui大測(cè)量范圍:110um X & Y range,22um Z range
● 大尺寸樣品臺(tái),全自動(dòng)測(cè)量zui大直徑為160mm樣品。
● PZT/Voice Coil雙模式技術(shù)AFM
● 全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
● 批處理軟件,自動(dòng)圖像拼接縫合技術(shù),可以測(cè)量超大樣品的三維形貌像
● *的32-bit DSP控制器,反饋技術(shù)(掃描范圍>10um時(shí)zui高掃描20 Hz,消除爬行現(xiàn)象)
● 可以進(jìn)行納米壓痕和劃痕實(shí)驗(yàn)
● 光學(xué)系統(tǒng), XY閉環(huán)掃描技術(shù)
● *開放性軟硬件構(gòu)架設(shè)計(jì), 并開放所有源代碼供您的二次開發(fā)