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光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

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光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)-桌面式主動隔振平臺,主要用于搭配掃描電子顯微鏡,六自由度主動隔振。

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光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

歐庫睿因主動隔振臺:為各型科學儀器實現(xiàn)主動隔振

產(chǎn)品概述

歐庫睿因主動式隔振技術,高精度設備的*美展現(xiàn)!

自從高分辨率測量和制造技術達到納米尺度以來,振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復測量結(jié)果的關鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是:

· 建筑物和地面的振動(垂直:5-30 Hz, 水平:0.5-10 Hz)

· 聲學振動(>20 Hz)

· 機動設備和機器(10-500 Hz)

主動隔振的基本原理是通過產(chǎn)生反作用力對干擾振動進行主動補償。

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

精選范例

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

歐庫睿因主動隔振系統(tǒng)的工作原理

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

應用設備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實現(xiàn)主動隔振所需的浮動狀態(tài)。承載臺面可以向各個方向移動。在工作狀態(tài)中,桌面上的應用設備與環(huán)境振動隔離。

振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感器輸出信號由控制電路進行分析和處理,控制電路驅(qū)動電動執(zhí)行器,電動執(zhí)行器實時產(chǎn)生對抗振動的反作用力。主動隔振在6個自由度內(nèi)有效。

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

主要特征

■ 相比于氣浮式隔振臺,主動隔振臺沒有低頻共振,即使在低頻范圍內(nèi)也有出色的隔振性能。

■ 超快的穩(wěn)定時間:低至0.3秒(普通被動隔振臺的 穩(wěn)定時間為30秒至60秒)。

■ 主動隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠超被動隔振臺)。

■ 6個自由度主動隔振。

■ 真正的主動隔振:及時產(chǎn)生反作用力來抵消振動。

■ 操作簡單-按鈕式解決方案。

■ 設計緊湊,安裝簡便。

■ 高度的位置穩(wěn)定性-1Hz時固有剛度通常是被動隔振臺的20到30倍。

■ 接電即可,無需壓縮空氣。

■ 適用于將高分辨率測量設備與建筑振動隔離。

■ 廣泛的適用范圍:擁有標準化產(chǎn)品和用戶定制產(chǎn)品。

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

i4 Large搭配3D輪廓儀


歐庫睿因 | 光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

光學平臺:i4系列主動隔振系統(tǒng)

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北京卓立漢光儀器有限公司

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