KLA D-300 探針式表面輪廓儀

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

    探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

設備特點

· 臺階高度：幾納米至1000μm

· 低觸力：0.5至15mg

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

主要應用

· 臺階高度：2D臺階高度

· 紋理：2D粗糙度和波紋度

· 形式：2D翹曲和形狀

· 應力：2D薄膜應力

應用領域

· 半導體和復合半導體

· SIMS：二次離子質(zhì)譜

· LED：發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS：微電子機械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設備