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CryoPS探針臺(tái)

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CryoPS高低溫真空探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹


精確控制的測(cè)試測(cè)量環(huán)境 - 高真空腔體，4～675k溫度范圍。


多種配件可選／升級(jí) - 2～8英寸載物臺(tái)，定位器數(shù)量及精度、溫度范圍、光學(xué)穿墻件。


高性價(jià)比 - 液氮／氦致冷系統(tǒng)，設(shè)備初始配置成本比閉循環(huán)系統(tǒng)低。


結(jié)構(gòu)緊湊 - 小型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，是空間緊張的研究單位的理想選擇。



      KeyFactor公司為用戶提供了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái)，該系統(tǒng)配置了KeyFactor研發(fā)的CryoPS-Celcius溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。

      CryoPS-Celcius配套了4個(gè)高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測(cè)試的可靠性。同時(shí)，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺(tái)快速?gòu)?196℃上升至200℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實(shí)驗(yàn)時(shí)間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。

高性價(jià)比真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)


      除了高性價(jià)比入門級(jí)配置，KeyFactor公司還為用戶研發(fā)了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。該系統(tǒng)配置了Cryocon的Model 26C或者Lakeshore的Model336溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定且高效的溫度控制。

      CryoPS-Kelvin真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)，使用國(guó)際上的溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為4.4至675K（常規(guī)系統(tǒng)至475K），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。該系統(tǒng)亦同時(shí)配套有4路輸入和兩路PID輸出，可精準(zhǔn)且全面地對(duì)系統(tǒng)的溫度進(jìn)行監(jiān)視和控制。CryoPS-Kelvin為開循環(huán)系統(tǒng)，用戶可根據(jù)實(shí)際需求，使用液氮或液氦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行降溫，獲得相應(yīng)的目標(biāo)溫度（77K/4.4K）。

高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)


      高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到10^-3mbar即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門級(jí)配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。KeyFactor的常規(guī)低溫探針臺(tái)系統(tǒng)，可達(dá)10^-5mbar。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測(cè)試要求。

      為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。

多種真空度可選的高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)


      精準(zhǔn)、可靠的電學(xué)測(cè)試測(cè)量配置也是KeyFactor高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)。

      我們可為用戶提供多種探針臺(tái)配置，如常規(guī)的鎢探針用于基礎(chǔ)的I-V測(cè)量，同軸探針用于高精度的I-V/C-V以及PIV測(cè)量，TrueKelvin同軸探針用于高精度的C-V測(cè)量，微波測(cè)試探針用于S參數(shù)的表征測(cè)量等等。

      除了探針，KeyFactor也為用戶提供了多種真空穿墻接頭以用于不同的測(cè)試系統(tǒng)間的連接。目前常用的配置有BNC，SMA、TRIAX三同軸接頭，2.92mm微波測(cè)試接頭等等。

高性能、精準(zhǔn)的電學(xué)測(cè)試配件


      普通的樣品夾具，通常由OFC制作并與系統(tǒng)共地。我們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具，用于超低漏電測(cè)試應(yīng)用中。所有樣品夾具表面均有TYPE II規(guī)格的鍍金層，增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性能。

      我們同時(shí)還提供多種尺寸的磁體樣品臺(tái)，用于提供小范圍的垂直磁場(chǎng)，方便用戶進(jìn)行磁場(chǎng)測(cè)試。

可選多種樣品臺(tái)配置

多重溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


      冷頭、探針、探針臂及屏蔽層均有溫度監(jiān)測(cè)傳感器，為用戶提供多個(gè)準(zhǔn)確的溫度信息，讓用戶快速地把握測(cè)試環(huán)境的大致情況。

      待測(cè)器件（DUT）的溫度會(huì)受到輻射及周邊部件熱傳導(dǎo)的影響，因此，如果沒有完善的熱錨技術(shù)，將無(wú)法得到精準(zhǔn)可靠的目標(biāo)溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上，而不是安裝在DUT上，DUT的溫度實(shí)際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。

      為了避免由于溫度不準(zhǔn)而導(dǎo)致錯(cuò)誤的測(cè)試結(jié)果，我們對(duì)探針、探針臂、輻射屏蔽層都使用了熱錨技術(shù)，地減少溫度誤差。同時(shí)，整體系統(tǒng)也配置了低溫屏蔽層，用于屏蔽300K輻射，提升系統(tǒng)溫度的精確性和穩(wěn)定性。



的屏蔽及熱沉技術(shù)

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