總體規(guī)格特點:
l 重量: 80kg @6inch臺體，100kg @8inch臺體，120kg @12inch臺體
l 尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺體，
760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺體，
930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺體
l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計，便于工程師長時間舒適的操作。
針座臺面規(guī)格:
l U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm
l 平臺臺面快速線性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調(diào)節(jié)，在探針點測時可以快速抬針，方便對待測點的重選擇
l 平臺臺面微調(diào)線性升降，微調(diào)升降行程20mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測時方便對待測點的復(fù)位，或者點測相同排列的待測點時，實現(xiàn)多根探針或光纖的高效重復(fù)測量。
載臺規(guī)格：（即chuck）
l 6英寸/8英寸/12英寸載臺，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附尺寸為
0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸
l 載臺X-Y移動平臺，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保證待測樣品的每一點都能夠點測到，同時配備微調(diào)旋鈕，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)
l 載臺X-Y移動平臺可升級氣浮快速移動，移動范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便快速定位測試點
l 載臺Y方向快速抽進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品
l 載臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°
l 載臺電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。
顯微鏡操控規(guī)格:
l 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動，移動范圍50mmX50mm，精度1μm
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm
l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換多組長焦物鏡，避免鏡頭切換時撞針
顯微鏡可升級Z軸方向氣動快速升降功能，方便切換多組長焦物鏡和快速重復(fù)聚焦。
