總體規(guī)格特點(diǎn):
l 重量: 80kg @6inch臺(tái)體，100kg @8inch臺(tái)體，120kg @12inch臺(tái)體
l 尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺(tái)體，
760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺(tái)體，
930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺(tái)體
l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作。
針座臺(tái)面規(guī)格:
l U型固定臺(tái)面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm
l 平臺(tái)臺(tái)面快速線性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調(diào)節(jié)，在探針點(diǎn)測(cè)時(shí)可以快速抬針，方便對(duì)待測(cè)點(diǎn)的重選擇
l 平臺(tái)臺(tái)面微調(diào)線性升降，微調(diào)升降行程20mm，精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)時(shí)方便對(duì)待測(cè)點(diǎn)的復(fù)位，或者點(diǎn)測(cè)相同排列的待測(cè)點(diǎn)時(shí)，實(shí)現(xiàn)多根探針或光纖的高效重復(fù)測(cè)量。
載臺(tái)規(guī)格：（即chuck）
l 6英寸/8英寸/12英寸載臺(tái)，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附尺寸為
0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸
l 載臺(tái)X-Y移動(dòng)平臺(tái)，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保證待測(cè)樣品的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到，同時(shí)配備微調(diào)旋鈕，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)
l 載臺(tái)X-Y移動(dòng)平臺(tái)可升級(jí)氣浮快速移動(dòng)，移動(dòng)范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便快速定位測(cè)試點(diǎn)
l 載臺(tái)Y方向快速抽進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品
l 載臺(tái)水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°
l 載臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。
顯微鏡操控規(guī)格:
l 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍50mmX50mm，精度1μm
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm
l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換多組長(zhǎng)焦物鏡，避免鏡頭切換時(shí)撞針
l 顯微鏡可升級(jí)Z軸方向氣動(dòng)快速升降功能，方便切換多組長(zhǎng)焦物鏡和快速重復(fù)聚焦。
