單一探頭的多功能平臺結構，集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等

的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識別技術，全數(shù)字控制的參數(shù)設置和采集

數(shù)字控制反饋回路，16-bit分辨的A/D和D/A

采用單一的外觸發(fā)時基和高速緩存，實現(xiàn)多通道信號的高速同步采集

采用基于TCP/IP協(xié)議的高速通信接口，實現(xiàn)雙處理器——雙操作系統(tǒng)的協(xié)同工作和大容量高速數(shù)據(jù)交換，使系統(tǒng)具有極大的開放性

系統(tǒng)內部預留多個可供輸入/輸出信號的處理通道，具有方便的擴展能力

系統(tǒng)外部預留標準開放接口，滿足用戶對儀器進行二次開發(fā)的需求

具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術

具備超媒體用戶界面的納米操縱工具

用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10操作系統(tǒng)

分析處理軟件在數(shù)據(jù)類型識別方面采用固定編碼和動態(tài)編碼兩種技術，實現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴展性

掃描區(qū)域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調整，可連續(xù)采集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程

實時定點測試功能

方便的鼠標控制掃描區(qū)域平移、剪切功能，掃描角度連續(xù)可調，多種樣品傾斜度實時校正功能

樣品粒度和粗糙自動分析功能

分辨率： STM：橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標）
AFM：橫向 0.26nm 垂直 0.1nm （以云母定標）

電流檢測靈敏度：≤10pA

力檢測靈敏度： ≤1nN

空間定位精度： ≤0.5nm

預留輸出信號通道數(shù)：6ch （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）

預留輸入信號通道數(shù)：16ch （100kHz采樣率，16-bit ADC，帶可控低通濾波器和可控增益放大器）

預留頻率合成輸出： 2ch （振幅為0～2V；頻率為DC～1000kHz，32-bit分辨）

集成STM、AFM和LFM等多種模式的掃描探頭

在線控制/后處理軟件

主流配置微機，預裝Windows操作系統(tǒng)

1μm × 1μm Scanner

20μm × 20μm Scanner

50μm × 50μm Scanner（選配）

70μm × 70μm Scanner（選配）

100μm×100μm Scanner（選配）

光學輔助顯微系統(tǒng)（選配）

可附加第二顯示器（選配）