規(guī)格

參數(shù)

CNC-2515

CNC-3020

CNC-4030

CNC-5040

工

作

臺

(mm)

X/Y軸行程

250*150

300*200

400*300

500*400

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

450*320

450*350

550*450

700*600

玻璃臺面尺寸

300*200

330*230

430*330

530*430

傳動(dòng)型式

傳動(dòng)型：進(jìn)口X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌和進(jìn)口研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005mm（0.5um）

測量精度：≤3um+l/200 重復(fù)精度：≤3um+l/200

X/Y/Z三軸高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

探針組（選配）

英國雷尼紹Renishaw探針組 （選配探針組_）

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本彩色1/3′ CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230x

鏡頭：NAV高清連續(xù)變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5x

可選配：0.5x物鏡時(shí)，總放大倍率15-115x

可選配：2x物鏡時(shí)，總放大倍率60-460x

光源系統(tǒng)

程控八區(qū)光源，表面光源與透射光源均為LED冷光源、壽命長、軟件自動(dòng)調(diào)節(jié)

儀器外形尺寸（L*W*H mm）

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

儀器重量（kg）

250

330

500

720