原子力顯微鏡 XN-10具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線(xiàn)性度，極低的閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡(jiǎn)單的儀器，NX-10會(huì)成為新老用戶(hù)的好伙伴。

原子力顯微鏡 XN-10技術(shù)參數(shù)：
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍50μm×50μm（可選100μm×100μm）
分辨率：0.05nm
定位檢測(cè)噪音：<0.3nm（帶寬：1kHz）
平面偏移度:<1nm（超過(guò)40μm掃描）
原子力顯微鏡 XN-10主要特點(diǎn)：

一、計(jì)量精確
XE系列AFM*消除了球面誤差，因而具備了實(shí)現(xiàn)精確納米計(jì)量的能力。

二、掃描器線(xiàn)形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性?huà)呙杵鱶ui大限度減小了X和Y掃描運(yùn)動(dòng)的交叉耦合，并且通過(guò)位移傳感器及時(shí)進(jìn)行反饋控制，這就有效保證了掃描的準(zhǔn)確度和精度。

三、非接觸式掃描
可真正實(shí)現(xiàn)非接觸式掃描是Park AFMzui顯著的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。采用這一模式掃描時(shí)，針尖和樣品間距可以保持在幾個(gè)納米，在避免針尖磨損的同時(shí)提高了成像質(zhì)量。

四、CrN樣品測(cè)試結(jié)果
CrN樣品具有點(diǎn)狀尖銳的特點(diǎn)，是常用的AFM探針性能測(cè)試樣品。如采用輕敲模式進(jìn)行掃描，10次后圖像質(zhì)量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實(shí)驗(yàn)中，掃描100次后圖像細(xì)節(jié)依然清晰，證明針尖沒(méi)有受到損傷。