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UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

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UVISELPlus橢圓偏振光譜儀UVISELPlus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nmUVISELPlus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合

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UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

UVISEL Plus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nm
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。
UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型,它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比, 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘?;谌碌碾娮釉O(shè)備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集。FastAcq專門為薄膜表征設(shè)計,雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測試結(jié)果。
相位調(diào)制技術(shù)的特點為高頻調(diào)制 50 kHz,信號采集過程無移動部件:
測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
數(shù)據(jù)采集速度快,高達(dá)50毫秒/點,是動力學(xué)研究和在線測量的理想選擇相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀,UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面,還可以表征50µm的厚膜。
 在測試有背反射的透明樣品時,測試簡單、準(zhǔn)確,無需刮花背面。
UVISEL Plus還設(shè)計有多種附件及可選功能,便于客戶根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如,微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。
UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計,可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺式測量,也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控。
UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面,一個是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能;另一個是 Auto-Soft 用戶導(dǎo)向的全自動樣品測試界面 ,工作流程直觀,易于非專業(yè)人士操作。
UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具。


產(chǎn)品優(yōu)勢
●高精度和高靈敏度
●模塊化設(shè)計
●寬光譜范圍: 190-2100 nm
●集數(shù)據(jù)測量、建模和自動化操作為一體的軟件包


獲得的信息
●膜層厚度,從1?到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光學(xué)常數(shù) (n,k) ,適用于各向同/異性和漸變層
●光學(xué)特性如:吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg
●材料性能:合金成分、孔隙率、結(jié)晶度及形貌等
●穆勒矩陣
●退偏


配置

UVISEL 規(guī)格
●光譜范圍:標(biāo)配190-885nm,可擴(kuò)展至近紅外2100nm
●檢測系統(tǒng):高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器
 手動配置
●光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(針孔)
●樣品臺:直徑150mm,手動調(diào)節(jié)高度(20mm)和傾角
●卡位量角器:手動調(diào)節(jié)角度,從55°到90°,步徑5°
 自動配置
●光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(針孔)
●自動樣品平臺:200 x 200mm或300 x 300mm,手動調(diào)節(jié)高度(4mm)和傾角;●XYZ樣品臺,theta平臺
●自動量角器:自動調(diào)節(jié)角度,從45°到90°,步徑0.01°
 集成型量角器
●手動調(diào)節(jié)入射角度,從35°到90°,步徑5°
●樣品臺:直徑150mm,手動調(diào)節(jié)高度(20mm)
●自動準(zhǔn)直系統(tǒng)(可選)
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
 在線配置
●機(jī)械適配器:CF35或KF40法蘭
●易于在在線和離線配置間更改
 選配
●附件:冷熱臺、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、反射模塊(測試0°入射的反射率)等
●可視化:CCD攝像機(jī)
性能
●準(zhǔn)確度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空氣對射1.5 - 5.3 eV
●重復(fù)性:NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001





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