世界可見光及電子光學(xué)的----德國蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學(xué)前身為LEO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域40多年及透射電鏡領(lǐng)域60年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個*：
Ÿ *臺靜電式透射電鏡 （1949）
Ÿ *臺商業(yè)化掃描電鏡 （1965）
Ÿ *臺數(shù)字化掃描電鏡（1985）
Ÿ *臺帶有成像濾波器的透射電鏡 （1992）
Ÿ *臺場發(fā)射掃描電鏡（1990）
Ÿ *臺具有Koehler照明的 200kV 場發(fā)射透射電鏡（2003）
Ÿ *臺具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場發(fā)射透射電鏡（2003）
CARL ZEISS其前瞻性**的設(shè)計(jì)融合歐洲*制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無可撼動的*地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)，，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡（FIB and SEM）、透射電子顯微鏡等全系列解決方案。。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到*廣大用戶的信賴與認(rèn)可。作為電鏡標(biāo)準(zhǔn)*的CARL ZEISS將一路*電鏡市場為您開創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀(jì)元。
源于德國卡爾•蔡司SMT部門的LIBRA 120是一款全新的能量過濾式透射電子顯微鏡（EFTEM），它可以更快、更可靠、更為穩(wěn)定的方式為您提供專業(yè)性的超微結(jié)構(gòu)及超納米結(jié)構(gòu)分析。
LIBRA 120采用了改進(jìn)的120kv的加速電壓、OMEGA鏡筒濾波器、*的科勒式照明系統(tǒng)以及可控?cái)?shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)，結(jié)合了*可重建電子功能和創(chuàng)新的WinTEMTM圖形用戶界面（ GUI ）控制系統(tǒng)。這使得LIBRA 120成為一款杰出的能量過濾式透射電鏡，可以為您提供zui為*的成像結(jié)果，元素分析，低劑量和遠(yuǎn)程控制三維實(shí)驗(yàn)等功能。
LIBRA 120性能特點(diǎn)及技術(shù)優(yōu)勢
●靈活性*的科勒式照明系統(tǒng)
科勒式照明系統(tǒng)在TEM、spot、STEM和衍射模式下均可實(shí)現(xiàn)自動化、可重復(fù)性和優(yōu)化光照條件。
●OMEGA內(nèi)置鏡筒能量過濾器
為增強(qiáng)圖像的反襯效果，LIBRA 120 在EELS 系統(tǒng)中加入了元素分析及優(yōu)化能量分辨率功能。
●高度集成化的電子板
高度集成化的電子板集合了電子光學(xué)參數(shù)的可控性、堅(jiān)固性以及zui大限度的穩(wěn)定性等優(yōu)勢。
●WinTEMTM圖形用戶界面和符合人體工程學(xué)的控制面板
方便用戶操作。
●開放式戰(zhàn)略
支持所有的圖像格式、適用所有的攝像機(jī)和探測器，能夠zui大限度的滿足客戶的檢測要求與應(yīng)用
●數(shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)
遠(yuǎn)程控制和高度重復(fù)再現(xiàn)能力。
●EDX元素分析
可對EELS和ESI / EFTEM能夠分析的元素以外的所有元素進(jìn)行分析。
●TMP基于*的無油真空系統(tǒng)
高吞吐量、低污染率和快速抽真空
●高精度± 75 °傾斜載物臺
高精度和穩(wěn)定性
WinTEMTM
TEM提供了一種更為直觀的和符合人體工程學(xué)的用戶界面。
LIBRA系列提供了一個*的外觀設(shè)計(jì)——圖形用戶界面（ GUI ） ，已廣泛應(yīng)用于各種掃描電鏡和FIB儀器等領(lǐng)域中。圖形用戶界面的設(shè)計(jì)，使用戶可以*專注于他們的研究領(lǐng)域并且即使是在低照明的工作環(huán)境下也可對多功能的EFTEM設(shè)備進(jìn)行操控。
多用戶功能
WinTEMTM軟件可以進(jìn)行多用戶操作，每個用戶都可以設(shè)定自己的管理界面，在用戶登錄后，就可以找到屬于自己的存儲信息和顯示數(shù)據(jù)。
（5）
方便直觀控制系統(tǒng)
人體功程學(xué)設(shè)計(jì)
LIBRA 120通過兩個控制面板就可以對WinTEMTM軟件進(jìn)行操作，它可以放置在桌面的任何位置并可進(jìn)行多用戶操作。低光模式下，背光旋鈕和計(jì)算機(jī)屏幕呈現(xiàn)熒光綠色，方便用戶操作，這充分展現(xiàn)了LIBRA 120系列的人體功程學(xué)原理。
軟件體系結(jié)構(gòu)和遠(yuǎn)程控制
該WinTEMTM控制軟件是基于客戶端的驗(yàn)證服務(wù)器架構(gòu)的：由EM服務(wù)控件和EFTEM構(gòu)成 。用戶（客戶端）是通過圖形用戶界面的WinTEMTM和兩個硬件控制面板來實(shí)現(xiàn)互動的。
采用程序編程接口（ API ）可以實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程操作。通過德國卡爾•蔡司SMT服務(wù)中心可以實(shí)現(xiàn)從連接EFTEM到不同實(shí)驗(yàn)室的高速、實(shí)時控制檢測和分析。
（6）
ESI-電子光譜成像：
一分鐘內(nèi)便可*檢測到樣品元素的分布
（7）
克勒式照明系統(tǒng)：
內(nèi)置式、簡單易用、多選擇性，降低對樣品表面的損傷
（8）
柯勒式照明：
可自由選取衍射（ SAD ）的zui小領(lǐng)域
（9）
LIBRA 120 技術(shù)
內(nèi)置OMEGA能量濾波器
LIBRA 120能源濾波器位于兩個投影組之間并采用對稱性設(shè)計(jì)（ Lanio型），可對二次相差進(jìn)行優(yōu)化。它由四塊磁鐵和*的hex pole /quadrupole校正元素，它們位于光譜儀的對稱面上。一個帶有可變孔徑光闌的能量分散板被設(shè)置在第二個投影系統(tǒng)前。任何介于0和3500 eV之間元素成像的電子能力的損失，具體的電子能量損失介于的元素圖像可以被選擇的界定增加小學(xué)高張力，恰恰對應(yīng)能源損失的部分利益。因此的路徑選擇的電子能量損失總是軸向，激發(fā)的成像系統(tǒng)和光譜保持不變，和的立場狹縫孔徑始終保持不變。任何介于0到3500ev的電子能量損失對于能量核磁共振成像來說都可以通過高速電壓來實(shí)現(xiàn)，這正與能量的損失相*。因此，電子能量損失的路徑總是在縱軸上，而成像系統(tǒng)、分光計(jì)以及光學(xué)孔徑總是恒久不變。
OMEGA過濾器從純粹的意義上來說就是磁譜儀，因此他的好處就在于可以不受任何限制的為顯微鏡提供加速電壓。雖然有其固定的生命周期，但卻不需要任何特殊的操作技能。
通過預(yù)先設(shè)置能量范圍，計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制掃描，光譜就可進(jìn)行自動記錄。
（10）
科勒式照明系統(tǒng)
聚光鏡的設(shè)置
科勒式照明系統(tǒng)包含了四個透鏡組：聚光鏡1-3和聚光鏡-物鏡（C-O）前場透鏡、幾個偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈，一個（可以是兩個）多孔的聚光孔徑光闌以及一個單一的聚光鏡孔徑光闌、
使用的自動照明系統(tǒng)（AIS）根據(jù)需要的放大倍數(shù)來選擇適當(dāng)?shù)木酃忡R孔徑光闌。確保獲得一個均勻的完整的照明視野。對于低放射劑量和衍射應(yīng)用分析，可以手動選擇聚光鏡孔徑光闌來限定照明區(qū)域。
優(yōu)勢所在
照明系統(tǒng)所具備的zui高性能以及zui大限度的靈活性是成像質(zhì)量達(dá)到*效果的*途徑。只有完善的柯勒式照明系統(tǒng)才具備以下突出優(yōu)勢：
●光學(xué)校正照明要求光束平行的照射到樣品點(diǎn)，即使光束被轉(zhuǎn)換或傾斜也能保持平行。
●無論采取何種發(fā)射方式，科勒式照明系統(tǒng)都能夠確保相同的寬視場照明。
●優(yōu)化樣品保護(hù)，依據(jù)不同的放大倍率，聚光鏡孔徑光闌進(jìn)行自動調(diào)整，使其直接成像到樣品表面并準(zhǔn)確界定其照明區(qū)域。
●分別調(diào)整照明區(qū)域和照明孔徑角（亮度）。22級亮度步進(jìn)式調(diào)整，允許自動精確劑量校準(zhǔn)
●簡單的按鈕操作便可實(shí)現(xiàn)對光斑大小的限定。 只有調(diào)整第三聚光鏡的勵磁，才可以在照明區(qū)域的中心位置呈現(xiàn)出聚焦的小圓斑點(diǎn)。
●無需輔助鏡頭，因?yàn)榍皥鑫镧R的后焦平面一直保持在任何照明條件下提供zui為嚴(yán)格的平行光束照明到樣品表面。
●當(dāng)能量損失值發(fā)生改變時，系統(tǒng)可對照明參數(shù)進(jìn)行自動校正
（11）
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)鏡筒
全新升級LIBRA 120采用了超級數(shù)字化理念設(shè)計(jì)的電子光學(xué)鏡筒，配置了內(nèi)置式OMEGA能源過濾器和三透鏡式科勒聚光鏡系統(tǒng)。進(jìn)一步降低了物鏡的色差系數(shù)、改善了透鏡線圈、提高了電子束的穩(wěn)定性、使聚光鏡及孔徑光闌更加靈活穩(wěn)定。帶有能量選擇光闌的電子束路徑如右圖所示。
物鏡
科勒式照明系統(tǒng)支持在物鏡前場透鏡的后焦平面處連續(xù)成像，且無需額外的迷你透鏡獲得平行光照射樣品點(diǎn)。無論采用spot、衍射、寬視野成像模式，聚光鏡孔徑光闌限定的照明區(qū)域和物鏡透鏡電流都保持不變。無需做任何調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)重復(fù)觀察和控制模式的快速轉(zhuǎn)換。樣本總是被固定在載物臺的eucentric軸上，同時位于物鏡的對稱區(qū)域。其大孔縫隙允許高傾斜角度，適合于各種探測測器或低溫顯微鏡anticontamination 刀口。
