一、產(chǎn)品名稱(chēng)、規(guī)格型號(hào)、數(shù)量

1.1 產(chǎn)品名稱(chēng)：超聲掃描顯微鏡

1.2 規(guī)格型號(hào)：Hiwave S200

1.3 數(shù)量：1臺(tái)

（（產(chǎn)品不斷改進(jìn)，以實(shí)物為準(zhǔn)）

二、工作環(huán)境要求

2.1   環(huán)境溫度要求：20～35℃

2.2   環(huán)境相對(duì)濕度：35℃≤50％RH

2.3   工作電源：220V±10%/50Hz，3KW

2.4   水源：自來(lái)水，或去離子水,水溫要求：15～30℃

2.5   周邊環(huán)境：

不要放在強(qiáng)磁場(chǎng)、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。

減少振動(dòng)。

灰塵少、濕氣少，沒(méi)有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化，限制到最小。

為了防止地震的損壞，四周一定要固定。

三、技術(shù)指標(biāo)

3.1 系統(tǒng)特性

整機(jī)尺寸：1.8m×1.3m×1.55m

掃描范圍：900mm×600mm×250mm；

典型掃描耗時(shí)：小于40s（測(cè)試條件：掃描區(qū)域10mm×10mm，分辨率50um）；

掃描速度：500mm/s；

圖像推薦分辨率：1～4000um；

厚度檢測(cè)范圍（根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配）

Ag材料：                              Cu材料：

0.3 ~ 1.5mm（25MHz探頭）；             0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭）；

1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭）；             1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）；

定位精度：X/Y≤±1μm，Z≤±10μm；

重復(fù)定位精度：X/Y≤±0.02mm，Z≤±0.02mm

3.2 軟件功能

3.2.1 常規(guī)軟件功能

一鍵校準(zhǔn)、手動(dòng)掃描（A/B/C掃描模式）、批量掃描、導(dǎo)出報(bào)告、探頭切換、強(qiáng)度檢測(cè)、相位檢測(cè)、厚度檢測(cè)、斷層檢測(cè)。