產(chǎn)品概述

高性能掃描顯微鏡 ——Cs掃：800mm/s掃描速度，T掃：600mm/s，8m/s2掃描加速度。典型應(yīng)用場景的掃描效率達(dá)到35秒/件，為S500機(jī)型的數(shù)倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢，提供了高性能的解決方案。采用整體焊接框架、主動(dòng)平衡減振機(jī)構(gòu)，有效降低高加速度引起的機(jī)體晃動(dòng)，提高成像質(zhì)量。

主要配置：
1、龍門式高速直線電機(jī)掃描運(yùn)動(dòng)臺(tái)；
2、主動(dòng)平衡減震系統(tǒng)；
3、整體焊接框架，提高穩(wěn)定性；
4、全封閉防護(hù)；
5、夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助；
6、自動(dòng)上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
精密器件 ——半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢，適用于理化試驗(yàn)室或車間現(xiàn)場。

產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源：220V/50Hz，3KW；
2、掃描范圍： C掃描500mm×340mm×100mm；圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；T掃描機(jī)：350mm*300mm

     *100mm；

3、整機(jī)尺寸：1250mm×850mm×1300mm；（標(biāo)配）

4、探頭頻率范圍：1~100MHz；（標(biāo)配，可升級(jí)至230MHz）；
5、圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；
6、典型掃描耗時(shí)：≤35s （測試條件：掃描區(qū)域10mmX10mm，分辨率50um)；
7、掃描速度：800mm/s；
8、運(yùn)動(dòng)臺(tái)定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重復(fù)定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率：25~250MHz；（標(biāo)配，可升級(jí)至1.5GHz）；
10、每通道可調(diào)增益：-13~66dB;（標(biāo)配，可升級(jí)）；脈沖重復(fù)頻率：5kHz；（標(biāo)配，可升級(jí)）。