主要技術(shù)指標

按JJF1105-2003觸針式表面粗糙測量儀校準規(guī)范

測量參數(shù)

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2……

測量長度

25mm;50mm

直線度測量精度

0.4μm

濾波器

高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器

截止波長

0.25，0.8，2.5

測量重復(fù)性

3%

相對示值誤差

±5%

示值穩(wěn)定性

3%

測量長度

λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

測量范圍

640μm

分辨率

0.001μm

測量速度

0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度（自動）

1mm/s

傳感器針尖

R=2μm鉆石（測量力1mN）；R=5μm鉆石(測量力4mN）