SMP01型傳感器微加工平臺SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發(fā)的傳感器微加工集成平臺，包括激光刻蝕、激光劃片、紫外光刻/激光直寫、多路微噴成膜、等離子微區(qū)沉積、輔助封裝等功能，可低成本的實現(xiàn)氣體傳感器微制造與小批量生產(chǎn)

SMP01型傳感器微加工平臺

SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發(fā)的傳感器微加工集成平臺，包括激光刻蝕、激光劃片、紫外光刻/激光直寫、多路微噴成膜、等離子微區(qū)沉積、輔助封裝等功能，可低成本的實現(xiàn)氣體傳感器微制造與小批量生產(chǎn)。基于該平臺，可研發(fā)多種類微型傳感器，包括溫濕度傳感器，催化燃燒型、固體電解質(zhì)型、阻抗型、光學(xué)型等類型氣體傳感器及其混合陣列，也可以基于多路微噴、等離子微區(qū)沉積等技術(shù)實現(xiàn)器件上原位的材料微納結(jié)構(gòu)可控成型。

結(jié)構(gòu)設(shè)計原理圖 掩膜版曝光圖

平臺實物圖 多路微噴機構(gòu)