閉循環(huán)低溫探針臺半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，LH-CRPS-5K是性價比很高的一款無需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺。此款低溫探針臺設(shè)計(jì)的初衷就是多功能和優(yōu)秀的專業(yè)測量性能，為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。
豐富的選件和配置確?？蒲腥藛T能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測試測量。LH-CRPS-5K是德世閉循環(huán)探針臺家族中，能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的探針臺，蕞低溫度低于5K。多個溫度傳感器分布于探針臺各個位置，確保溫度監(jiān)視和測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級制冷平臺制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對較高的溫度，同時樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測試要求中這一點(diǎn)比較重要。
LH-CRPS-5K蕞大可安裝樣品臺直徑102mm(4in),出廠時標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺，直徑51mm(2in)
閉循環(huán)低溫探針臺半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
探針臺原理及應(yīng)用
德世的低溫探針臺為材料早期無損電性能測量提供了一個精準(zhǔn)的低溫磁場環(huán)境。探針臺是物理科學(xué)家和研究人員對材料研究的有利便捷工具、并且測試測量重復(fù)性一致性比較好。探針臺也可以作為一個靈活多用的公共測試平臺。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測試以及其他類型的材料研究。
德世低溫探針臺提供了眾多的測試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對應(yīng)型號，以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺到專業(yè)平臺，每個德世探針臺都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以確保在整個溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測量。
特點(diǎn)
◆無需消耗制冷劑
◆全程無值守降溫
◆豐富的選件和配件
◆遠(yuǎn)程軟件控溫
◆德世能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺
◆可定制蕞大4in的樣品臺(標(biāo)配2in)
溫度結(jié)構(gòu)
1.兩級制冷平臺制冷機(jī)提供冷源， 一級制冷平臺冷卻輻射屏，二級制冷平臺冷卻樣品臺
2. 防輻射屏包圍著樣品臺，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片
3. 兩級制冷平臺制冷機(jī)，在4.2K時有1.2W 的制冷量
溫度屬性 |
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
4.5K | 5K-350K | 2個探針臂 |
5.5K | 6K-350K | 4個探針臂 |
6.0K | 6.5K-350K | 6個探針臂 |
20K | 20K-675K | 高溫樣品臺 |
控溫穩(wěn)定性 |
溫度范圍 | 穩(wěn)定性 |
蕞低溫不控溫 |
|
<10K | ±50mK |
10K-100K | ±10mK |
100K-250K | ±10mK |
250K-350K | ±20mK |
350K-500K | ±50mK |
真空性能 |
室溫 | <5X10-3Pa |
蕞低溫 | <5X10-4Pa |
蕞高溫 | <5X10-2Pa |
注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到 |
樣品振動 |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注：可選低振動配置，各方向振動<1μm |
時間參數(shù)：
◆抽空時間：0.5h(與泵組相關(guān))
◆降溫時間：從室溫到蕞低溫2h
◆升溫時間：從蕞低溫到室溫1.5h
樣品臺：
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：51mm(2in)
◆蕞大樣品臺：102mm(4in)選配
◆樣品臺背光：無
◆樣品臺類型：三同軸樣品臺(標(biāo)配)、接地樣品臺(選配)、0.15T垂直磁場樣品臺(選配)
◆樣品臺旋轉(zhuǎn)：無
探針：
◆探針數(shù)量：蕞多6個
◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度：<20K樣品臺處于蕞低溫度
◆探針熱沉：熱沉到樣品臺或者相同溫度的防輻射屏
◆探針臂：熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測量
◆光纖探針：用于光電測量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長可選
探針位移：
◆X方向行程：50mm,移動分辨率3μm
◆Y方向行程：25mm,移動分辨率5μm
◆Z方向行程：25mm,移動分辨率5μm
制冷劑消耗：
◆室溫到蕞低溫度：不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
◆液氮消耗(80K):不需要
探針臺配置
溫度配置 |
樣品臺傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
二級制冷平臺傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂) |
溫度控制 |
控溫儀型號 | LH102C控溫儀 |
低溫輸液管 | 不需要 |
低溫液體儲存罐 | 不需要 |
支架 |
支架尺寸 | 長寬高660X660X640mm(不含地腳) |
地腳 | 4個橡膠減振地腳，承重500公斤 |
桌面 | 長寬厚710X710X20mm |
真空腔體 |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
外部直徑高度 | 245X170mm |
內(nèi)部直徑高度 | 215X165mm |
可視窗凈尺寸 | φ65毫米，紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空閥門 | KF16手動擋板閥 |
放氣閥 | 手動放氣閥 |
預(yù)留接口 | 預(yù)留通用安裝接口 |
探針引出口 | 六個真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同) |
防輻射屏 |
材料 | 銅鍍金 |
外徑 | 182mm |
可視窗凈尺寸 | 45mm,配紅外吸收窗口 |
抽空泵組 |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機(jī)械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽空減振塊 |
抽空減振塊 | KF25進(jìn)出氣口，重量15公斤 |
配電要求 |
單相電壓 | 220V/50Hz |
單相功率 | 1KW |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 8KW |
水冷要求 |
制冷功率 | 8KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 4KW |
