圓度偏差（µm+µm/mm 測(cè)量高度）*

0,015 + 0,0003

圓度偏差（µm+µm/mm 測(cè)量高度）**

0,03 + 0,0006

軸向跳動(dòng)偏差（µm+µm/mm 測(cè)量半徑）*

0,02 + 0,0001

軸向跳動(dòng)偏差（µm+µm/mm 測(cè)量半徑）**

0,04 + 0,0006

調(diào)心調(diào)平工作臺(tái)

手動(dòng)

工作臺(tái)直徑 (mm)

160

工作臺(tái)負(fù)載，居中 (N)

200

速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz

0.2-15

測(cè)量路徑，機(jī)動(dòng) (mm)，Z 軸

250

直線度偏差/100 mm 測(cè)量路徑 (µm)**，Z 軸

0.15

直線度偏差/總測(cè)量路徑 (µm)**，Z 軸

0.3

跟蹤方向的平行度偏差 Z-/C-軸 (µm)

0.5

測(cè)量速度 (mm/s)，Z 軸

0.5-30

定位速度 (mm/s)，Z 軸

0,5-100

定位路徑 (mm)，X 軸

150，機(jī)動(dòng)

定位速度 (mm/s)，X 軸

0,5-30