Wyko NT9800光學(xué)輪廓儀在0.1nm到10mm的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高精度三維表面測(cè)量工能，縱向分辨率可達(dá)0.1nm。NT9800采用了Veeco的內(nèi)部實(shí)時(shí)激光參考信號(hào)進(jìn)行持續(xù)的自校準(zhǔn)，減小了通常情況下使用標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)設(shè)備的需要，并且能夠補(bǔ)償工作環(huán)境下系統(tǒng)產(chǎn)生的熱漂誤差。作為的第九代Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品，NT9800具有的自動(dòng)化水平，友好的用戶界面，以及業(yè)內(nèi)Wyko Vision分析軟件系統(tǒng)。眾多技術(shù)的集成、經(jīng)過長(zhǎng)期實(shí)用驗(yàn)證的測(cè)量技術(shù)核心以及適合于各種專業(yè)應(yīng)用需要的軟件功能，使NT9800成為的光學(xué)干涉測(cè)量設(shè)備，可滿足MEMS、金屬研究、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對(duì)高精度自動(dòng)化表面測(cè)量的需要。

主要特點(diǎn)：

1. 非接觸測(cè)量
2. 重復(fù)性高
3. 測(cè)量精度高