ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列
量程0.5 SCCM-6000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間
美國ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃溫差
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm壓力差
性能指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（）
測量和控制范圍 0.01～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 按鍵操作，標(biāo)準(zhǔn)為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）見上段精度升級部分
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應(yīng)時(shí)間 100 ms（可調(diào)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜1s
標(biāo)定工況 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 1 MPaG（可選2MPaG高壓選項(xiàng)）
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃
過程連接 標(biāo)準(zhǔn)為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
