ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列

運用案例
● 醫(yī)療設備配套

● 環(huán)境分析儀器配套

● 光譜色譜分析儀器配套

● 其它氣體流量測控行業(yè)

產品特色
●  價格低廉，

●  超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成

●  快速響應，優(yōu)于70 ms 的預熱時間

●  壓損極低，滿量程僅為10mbar

●  內置精巧的PD閥，控制穩(wěn)定、精確

●  測量和控制范圍0.5~99%，一臺設備適用于多個應用

●  配備模擬控制和數(shù)字控制，贈送電腦操作軟件

●  的抗振性能，可適用于鐵路焊機等嚴格場合
性能指標

介質要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質種類    每臺設備只能選ABC其中的一種：

                  A：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮，可通過RS485切換

                  B：僅支持氫氣

                  C：僅支持氦氣

量       程    0 - 100 SCCM ，0 - 1000 SCCM， 0 - 20 SLPM， 0 - 50 SLPM

                 （注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%。）

測量和控制范圍    1 ~ 99% （0-100 SCCM）

                             0.5 ~ 99% （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

可控流量    102 % 滿量程

精       度    ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）

重  復  性    ± 0.5 % 讀數(shù)

質量流量溫度漂移    ± 0.2 % 滿量程 / ℃

零點漂移&滿量程漂移    0.05%滿量程/年

響應時間    優(yōu)于100 ms

預熱時間    70 ms

標定工況    25℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    0 ～ 50℃

工作濕度    <  90 %，無冷凝

工作壓力    0-100 SCCM、0-1000 SCCM為1MPa，

                         0-20 SLPM、0-50 SLPM為60 PSIG

滿量程壓損    1 KPa

數(shù)字輸入/輸出信號    RS485、RS232、Modbus

模擬輸入/輸出信號    0 - 5 VDC、4 - 20 mA

供電電壓    10-30 VDC

供電電流    200 mA

閥門泄漏率    內漏：10-5 Atm – cc/sec He

                      外漏：10-9 Atm – cc/sec He

材       質    主體材質：316不銹鋼

                  閥體材質：黃銅

                 密封材質：FKM （Viton）

                 傳 感 器：氮化硅

過程連接    NPT 內螺紋

振       動    20g；MIL-STD-883E, Method 2002.4

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    CE、RoHS、REACH